1.一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,包括一衬底(1),所述衬底(1)上设置有GaN层(2),所述GaN层(2)上设置有n型掺杂GaN层(3),所述n型掺杂GaN层(3)上表面的一侧具有一台面,所述台面低于所述n型掺杂GaN层(3)的上表面,所述n型掺杂GaN层(3)上表面从下到上依次层叠设置有超晶格层(4)、非掺杂GaN缓冲层(5)、非掺杂InGaN/GaN多量子阱层(6)、GaN势垒层(7)、AlInGaN势垒层(8)和p型掺杂GaN层(9),所述p型掺杂GaN层(9)上设置有多个p型电极(10),相邻的所述p型电极(10)之间通过设置在所述p型掺杂GaN层(9)上的透明电极层(11)连接;
所述n型掺杂GaN层(3)的台面上设置有n型电极(12)。
2.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述AlInGaN势垒层(8)为Al0.2In0.04Ga0.76N层,所述AlInGaN势垒层(8)的厚度为40nm。
3.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述非掺杂InGaN/GaN多量子阱层(6)包括10~13个周期结构,每个周期内InGaN的厚度为2~5nm,GaN的厚度为5~10nm。
4.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述超晶格层(4)包括10~15个InGaN/GaN周期结构,每个周期内InGaN的厚度为2~5nm,GaN的厚度为3~5nm。
5.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述非掺杂GaN缓冲层(5)的厚度为80nm,所述GaN势垒层(7)的厚度为
20nm,所述GaN势垒层(7)的掺杂浓度为1×1019cm-3。
6.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述n型掺杂GaN层(3)为Si掺杂的n-GaN层,所述n型掺杂GaN层(3)的厚度为2μm,所述n型掺杂GaN层(3)的掺杂浓度为1×1019cm-3。
7.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述p型掺杂GaN层(9)为Mg掺杂的p-GaN层,所述p型掺杂GaN层(9)的厚度为40nm,所述p型掺杂GaN层(9)的掺杂浓度为1×1021cm-3。
8.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述p型电极(10)由Cr、Ni和Au依次沉积得到,所述透明电极层(11)的材料为ITO,所述n型电极(12)由Cr、Ni和Au依次沉积得到。
9.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述GaN层(2)的厚度为2μm。
10.如权利要求1所述的一种插入AlInGaN势垒层结构的InGaN/GaN多量子阱太阳能电池,其特征在于,所述衬底(1)为蓝宝石衬底,所述衬底(1)的厚度为430μm。