1.一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，包括：上盘(1)、下盘(2)、内齿轮(3)、外齿圈(4)、游星轮(5)、至少三个锥齿轮(6)、锥齿轮电机(10)和锥齿轮进给组件，所述上盘(1)、所述下盘(2)、所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)同轴线设置，所述内齿圈设置在所述上盘(1)和所述下盘(2)之间，所述外齿圈(4)固定在所述下盘(2)的上表面，所述游星轮(5)同时与所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)啮合，所述上盘(1)的下表面和所述下盘(2)的上表面的外周设有锥齿圈(13)，多个所述锥齿轮(6)间隔设置，并同时与所述锥齿圈(13)啮合，所述锥齿轮电机(10)与任意一个所述锥齿轮(6)连接，所述锥齿轮进给组件包括齿轮座(7)和进给机构(8)，所述锥齿轮(6)与所述齿轮座(7)转动连接，所述齿轮座(7)与所述进给机构(8)配合，以使得所述进给机构(8)带动所述锥齿轮(6)沿所述上盘(1)的径向运动。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)包括驱动环(81)、多个驱动块(82)和壳体(83)，所述壳体(83)为环形，且一端沿径向方向间隔设置有多个滑动槽(831)，另一端设有环形槽(832)，所述环形槽(832)与所述滑动槽(831)连通，所述驱动环(81)的一端设有螺旋形槽(811)，且可转动地安装在所述环形槽(832)内，所述驱动块(82)的一端设有凸块(821)，另一端与所述齿轮座(7)固定连接，所述驱动块(82)与所述滑动槽(831)滑动连接，所述凸块(821)与所述螺旋形槽(811)滑动连接，以使得所述驱动环(81)转动时，带动所述驱动块(82)沿所述驱动环(81)的径向运动。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)还包括驱动齿轮(84)，所述驱动环(81)的一端设有螺旋形槽(811)，所述驱动环(81)的另一端设有驱动齿圈(812)，所述驱动齿圈(812)与所述驱动环(81)同轴线设置，所述驱动齿轮(84)与所述驱动齿圈(812)啮合，以使得所述驱动齿轮(84)带动所述驱动齿圈(812)转动。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)还包括驱动电机(85)，所述驱动电机(85)的转动轴与所述驱动齿轮(84)固定连接。

5.根据权利要求2所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备包括内齿轮电机(9)，所述内齿轮电机(9)的转动轴与所述下盘(2)可转动连接，且与所述内齿轮(3)的下表面固定连接，以带动所述内齿轮(3)转动。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述内齿轮电机(9)与所述壳体(83)固定连接。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述内齿轮(3)的上表面安装有定位圆柱(31)，所述上盘(1)的轴向上设有定位孔(12)，所述定位圆柱(31)与所述定位孔(12)的直径相同，且可转动连接。

8.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述上盘(1)的上表面设有多个同心设置的研磨液环槽(11)，所述研磨液环槽(11)的底部间隔设有多个贯穿所述上盘(1)的研磨液孔。

9.根据权利要求8所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备包括研磨液储液罐、研磨液管和多个研磨液喷头，所述研磨液储液罐通过所述研磨液管同时与多个所述研磨液喷头连通，每个所述研磨液环槽(11)的上方都设有一个所述研磨液喷头。

10.根据权利要求9所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，远离所述上盘(1)轴线的所述研磨液喷头的流量大于靠近所述上盘(1)轴线的所述研磨液喷头的流量。