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专利号: 2019107492391
申请人: 深圳先进技术研究院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-08-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于表面等离激元格点共振的光学器件,包括基底介质板(1)以及沉积于所述基底介质板(1)上的纳米结构单元阵列,坐标轴设定为x方向与y方向垂直,且两者平行于所述基底介质板(1),z方向垂直于所述基底介质板(1),其特征在于,所述纳米结构单元由从下往上依次设置的底层金属柱(2)、中层介质柱(3)和顶层金属柱(4)紧贴叠加构成;

所述底层金属柱(2)、所述中层介质柱(3)和所述顶层金属柱(4)平行于所述基底介质板(1)的截面形状相同;

所述底层金属柱(2)、所述中层介质柱(3)和所述顶层金属柱(4)的长度和宽度均相等;

所述底层金属柱(2)和所述顶层金属柱(3)的材料相同;

所述纳米结构单元沿x方向与y方向以相同的周期均匀排布在所述基底介质板(1)上,介质层(5)覆盖于所述纳米结构阵列上;

所述中层介质柱(3)厚度变化范围为100nm~300nm。

2.根据权利要求1所述的光学器件,其特征在于:所述介质层(5)的折射率不同于所述基底介质板(1)的折射率。

3.根据权利要求2所述的光学器件,其特征在于:所述介质层(5)的折射率为1.00‑

1.52。

4.根据权利要求2所述的光学器件,其特征在于:所述介质层(5)为水、溶液或者空气。

5.根据权利要求1所述的光学器件,其特征在于:所述基底介质板(1)的材料为硅、二氧化硅或者玻璃。

6.根据权利要求1所述的光学器件,其特征在于:所述底层金属柱(2)和所述顶层金属柱(4)的材料为金、银或者铝,所述中层介质柱(3)的材料为二氧化硅。

7.根据权利要求1所述的光学器件,其特征在于:所述底层金属柱(2)、所述中层介质柱(3)和所述顶层金属柱(4)平行于所述基底介质板(1)的截面形状为正方形。

8.根据权利要求7所述的光学器件,其特征在于:所述底层金属柱(2)和所述顶层金属柱(4)厚度变化范围为100nm~250nm,宽度和长度变化范围为60nm~100nm。

9.根据权利要求7或8所述的光学器件,其特征在于:所述中层介质柱(3)宽度和长度变化范围为60nm~100nm。

10.根据权利要求1所述的光学器件,其特征在于:所述周期的变化范围为300nm~

600nm。