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专利号: 2019107679800
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种柔性Ag/MoS2/Cu阻变式存储器的制备方法,其特征在于,该方法具体步骤如下:步骤1)、配制浓度为0.015 0.05 g/ml的淀粉溶液;

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步骤2)、将清洗过的玻璃片放在匀胶机中样品托的中心位置,把配制好的淀粉溶液滴涂在玻璃片上,设置匀胶机的转速和时间,启动匀胶机;

步骤3)、重复步骤2)四次;

步骤4)、采用真空蒸发镀膜在淀粉薄膜的玻璃片上蒸镀厚度为50 500nm的金属衬底薄~膜;

步骤5)、将采用水热法制备出的MoS2在异丙醇中球磨处理2 6h,制备MoS2悬浮液;

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步骤6)、在底电极上采用旋涂法制备一层MoS2薄膜;

步骤7)、采用真空蒸发镀膜在MoS2薄膜上蒸镀直径250μm、厚度为50~500nm的顶电极;

步骤8)、将制备好的器件放入去离子水中,水溶性淀粉牺牲层溶解,Ag/MoS2/Cu阻变存储器与玻璃片完全分离后将器件转移到不同衬底上,采用吉时利(keithely)4200-SCS半导体特性分析仪进行阻变特性测试。

2.根据权利要求1所述柔性Ag/MoS2/Cu阻变式存储器的制备方法,其特征在于,步骤2)中,玻璃片大小为20 mm×20 mm×2 mm,将玻璃片分别在丙酮和无水乙醇中超声清洗10 min,再用去离子水冲洗并用氮气枪吹走玻璃片表面的水分;设置匀胶机的参数为:低转速

500 rpm、时间20 s,高转速1000 3000 rpm、时间99 s。

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3.根据权利要求1所述柔性Ag/MoS2/Cu阻变式存储器的制备方法,其特征在于,步骤4)中,真空蒸镀的条件为:蒸镀速率为1 2 Å/s、本底真空小于5×10-4 Pa、蒸镀功率为160 190 ~ ~w。

4.根据权利要求1所述柔性Ag/MoS2/Cu阻变式存储器的制备方法,其特征在于,步骤5)中,以钼酸铵、硫脲、盐酸羟胺为原料通过水热法制备MoS2,制备MoS2悬浮液所需MoS2的量为

1 4g、异丙醇的体积为10 40ml。

~ ~

5.根据权利要求1所述柔性Ag/MoS2/Cu阻变式存储器的制备方法,其特征在于,步骤7)中,真空蒸镀的条件为:蒸镀速率为1 2 Å /s、本底真空小于5×10-4Pa、蒸镀功率为130 160 ~ ~w。