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专利号: 2019108472361
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种激光原位辅助单晶金刚石典型晶面的研磨方法,其特征在于:所述激光器根据单晶金刚石研磨面的难磨方向进行选择,确保激光器发射出的激光光斑形状与单晶金刚石研磨面的难磨晶向分布形状相匹配。

2.如权利要求1所述的一种激光原位辅助单晶金刚石典型晶面的研磨方法,其特征在于:所述单晶金刚石具有优良的导热性,且在单晶金刚石进行装夹前,在其上部表面进行辅助加工,研磨出一个透光面,可以使得激光器发射出的激光束能够通过该透光面照射在单晶金刚石的研磨面上。

3.如权利要求1所述的一种激光原位辅助单晶金刚石典型晶面的研磨方法,其特征在于:激光器发出的激光束从研磨出来的单晶金刚石透光面射入,照射在单晶金刚石研磨面的难磨方向上,使单晶金刚石研磨面的难磨方向吸收激光能量,并通过热传导的方式对整个研磨面进行加热,待单晶金刚石的研磨面的难磨方向硬度发生软化时,通过研磨盘对其进行研磨。

4.如权利要求1所述的一种激光原位辅助单晶金刚石典型晶面的研磨方法,其特征在于:所述金刚石夹具呈中空管状,其中一端通过套设在夹具外周的紧固套管与金刚石紧固连接,采用周边夹方式对单晶金刚石进行夹持,保证激光在照射到单晶金刚石透光面的过程中没有遮挡。

5.如权利要求1所述的一种激光原位辅助单晶金刚石典型晶面的研磨方法,其特征在于:包括如下步骤:S1、根据所需要研磨的单晶金刚石物理化学性能及研磨面难磨方向,选用合适的激光器,并通过掩膜等方式确定激光的输出形态等工艺参数。

S2、通过金刚石夹具对已磨好入射面的单晶金刚石进行相对安装定位,准备进行研磨。

S3、将激光器进行安装定位,并使激光器发出的激光束能够透过已磨好的入射面射入金刚石内部聚焦到研磨面上,使得激光器发射出的激光光斑形状与单晶金刚石研磨面的难磨晶向分布形状相匹配,确保激光可准确对单晶金刚石难磨方向进行加热。

S4、启动研磨过程中,单晶金刚石的难磨方向在激光的辐照下产生软化,并在研磨盘的磨削力作用下实现高速研磨。