1.一种稀土三氟化物LnF3薄膜的制备方法,其特征在于,由以下步骤组成:以稀土硝酸盐的水溶液作为电沉积溶液,采用脉冲电压沉积法制备得到稀土层状氢氧化物薄膜;所述电沉积溶液中稀土金属离子总浓度为0.01 1mol/L,所述电沉积溶液的温度~
为5 80℃;
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将氟化物和水混合后调节pH值至8 11,得到氟化物溶液;所述氟化物溶液的浓度为~
0.01 1mol/L;
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将所述稀土层状氢氧化物薄膜浸没于所述氟化物溶液中,进行置换反应,得到稀土三氟化物薄膜;
所述氟化物和稀土层状氢氧化物薄膜中稀土层状氢氧化物的摩尔比≥40;
所述置换反应的温度为80℃ 180℃,时间为5 20h;
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所述稀土硝酸盐中的稀土金属包括La、Pr和Nd中的一种或几种。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述脉冲电压沉积法采用的三电极体系包括工作电极、辅助电极和参比电极,所述工作电极为透明导电玻璃;所述辅助电极为Pt网;所述参比电极为Ag/AgCl/Cl‑电极;
所述透明导电玻璃的一侧镀有ITO层、FTO层或AZO层。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述脉冲电压沉积法的工作参数为:沉积电压为‑0.8 ‑1.3V,间隔时间为10 60s,总沉积时间为5 120min。
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4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述氟化物包括NaF和KF中的一种或两种。
5.权利要求1 4任一项所述制备方法制备得到的稀土三氟化物薄膜。
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