1.一种高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)P型硅基体清洗,P型硅基体背面抛光;
2)P型硅基体背面制备遂穿氧化层和N型多晶硅,形成钝化接触结构,在N型多晶硅上形成磷硅玻璃;
3)P型硅基体正面去绕镀,在P型硅基体正面制绒;
4)P型硅基体背面去除磷硅玻璃,P型硅基体背面激光开槽,激光开槽区域内去除N型多晶硅和遂穿氧化层;
5)P型硅基体的正面和背面分别沉积正面钝化层和背面钝化层;
6)P型硅基体背面激光开槽,开槽图形与步骤4)中的开槽图形均为栅线,开槽宽度小于步骤4)中的开槽宽度,激光开槽区域内去除背面钝化层;
7)P型硅基体背面印刷铝浆和银浆,铝浆印刷对准激光开槽区域,烧结完成金属化。
2.根据权利要求1所述的高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,步骤2)P型硅基体背面用热氧化生长隧穿氧化层,在隧穿氧化层上通过低压化学气相沉积法沉积本征多晶硅,通过扩散工艺将磷掺杂进本征多晶硅中,在P型硅基体背面形成钝化接触结构,所述钝化接触结构为隧穿氧化层和N型多晶硅叠层,在N型多晶硅上还有扩散形成的磷硅玻璃。
3.根据权利要求1所述的高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,步骤3)P型硅基体正面用氢氟酸和硝酸去除绕镀的磷硅玻璃、N型多晶硅和隧穿氧化层,保留P型硅基体背面的磷硅玻璃,用碱溶液对P型硅基体正面进行制绒,在P型硅基体正面形成绒面结构,P型硅基体背面的N型多晶硅通过P型硅基体背面的磷硅玻璃被保留。
4.根据权利要求1所述的高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,步骤7)P型硅基体背面印刷铝浆和银浆,印刷铝浆和银浆的图形均为栅线,铝栅线对准步骤6)的激光开槽区域,烧结后,铝浆和P型硅基体的界面处形成铝掺杂的P型硅,银浆烧穿过背面钝化层,银浆第二金属电极与背面N型多晶硅接触。