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专利号: 2019109206318
申请人: 苏州腾晖光伏技术有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-08-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)P型硅基体清洗,P型硅基体背面抛光;

2)P型硅基体背面制备遂穿氧化层和N型多晶硅,形成钝化接触结构,在N型多晶硅上形成磷硅玻璃;

3)P型硅基体正面去绕镀,在P型硅基体正面制绒;

4)P型硅基体背面去除磷硅玻璃,P型硅基体背面激光开槽,激光开槽区域内去除N型多晶硅和遂穿氧化层;

5)P型硅基体的正面和背面分别沉积正面钝化层和背面钝化层;

6)P型硅基体背面激光开槽,开槽图形与步骤4)中的开槽图形均为栅线,开槽宽度小于步骤4)中的开槽宽度,激光开槽区域内去除背面钝化层;

7)P型硅基体背面印刷铝浆和银浆,铝浆印刷对准激光开槽区域,烧结完成金属化。

2.根据权利要求1所述的高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,步骤2)P型硅基体背面用热氧化生长隧穿氧化层,在隧穿氧化层上通过低压化学气相沉积法沉积本征多晶硅,通过扩散工艺将磷掺杂进本征多晶硅中,在P型硅基体背面形成钝化接触结构,所述钝化接触结构为隧穿氧化层和N型多晶硅叠层,在N型多晶硅上还有扩散形成的磷硅玻璃。

3.根据权利要求1所述的高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,步骤3)P型硅基体正面用氢氟酸和硝酸去除绕镀的磷硅玻璃、N型多晶硅和隧穿氧化层,保留P型硅基体背面的磷硅玻璃,用碱溶液对P型硅基体正面进行制绒,在P型硅基体正面形成绒面结构,P型硅基体背面的N型多晶硅通过P型硅基体背面的磷硅玻璃被保留。

4.根据权利要求1所述的高效晶硅太阳电池制备方法,其特征在于,步骤7)P型硅基体背面印刷铝浆和银浆,印刷铝浆和银浆的图形均为栅线,铝栅线对准步骤6)的激光开槽区域,烧结后,铝浆和P型硅基体的界面处形成铝掺杂的P型硅,银浆烧穿过背面钝化层,银浆第二金属电极与背面N型多晶硅接触。