1.一种微通孔Cu基CVD金刚石热沉片,其特征在于,从下至上依次包括Cu基底(1)、金属过渡层(2)和CVD金刚石薄膜(4),Cu基底(1)上阵列分布有直径0.3~0.5mm,间距2~3mm的微通孔,金属过渡层(2)的表面静电组装金刚石纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片,其特征在于,微通孔的形状包括圆形、正三角形、正方形、正六边形或正八边形。
3.根据权利要求1或2所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片,其特征在于,Cu基底(1)为纯度99.99%~99.999%的无氧铜,直径为10~20mm,厚度为0.5~1mm。
4.根据权利要求1所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片,其特征在于,CVD金刚石薄膜(4)的厚度为0.2~0.3mm。
5.根据权利要求1所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片,其特征在于,中间金属过渡层(2)的厚度为50~100nm,金刚石纳米颗粒为球状结构,粒径为2~6nm。
6.一种如权利要求1所述微通孔Cu基CVD金刚石热沉片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、对Cu基底表面进行清洗;
S2、对Cu基底蒸镀形成碳化物金属过渡层;
S3、在金属过渡层表面静电组装金刚石纳米颗粒;
S4、采用CVD方法在金刚石纳米颗粒上生长金刚石薄膜;
S5、采用激光打孔法在Cu基底上制作微通孔阵列。
7.根据权利要求6所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法,其特征在于,步骤S1中,依次使用盐酸溶液、丙酮、酒精和去离子水对Cu基底清洗3~5min,然后使用氮气吹干。
8.根据权利要求6所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法,其特征在于,步骤S2中,溅射功率为80~100W,气压为1.0~1.5Pa,温度为300~400℃,Ar气流量为20~
30sccm,时间10~15min;制备金属过渡层的材料包括钨、钼、钛、铁、铬、镍、钴、铪、锆、钕、钒、钽、钇或铝。
9.根据权利要求6所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法,其特征在于,步骤S4中,采用热丝CVD、燃烧火焰法CVD、电子辅助、微波等离子体CVD、射频等离子体CVD、直流等离子体CVD或混合物理化学气相CVD方法,以CH4、H2作为反应气体,CH4气体流量0.5~
1.0sccm,H2气体流量500~800sccm,衬底温度850~1000℃,气压80~100Torr,微波功率
400~500W,生长时间5~8h。
10.根据权利要求6所述的微通孔Cu基CVD金刚石热沉片及其制备方法,其特征在于,步骤S5具体为:S501、将Cu基底表面CVD金刚石热沉片倒置在激光打孔载物台上并固定;
S502、调整光路及载物台与激光器的距离,使得激光器由输出功率密度为105~109W/cm2;
S503、设置激光参数,激光器为YAG固体激光器,YAG固体激光器平均功率为200~300W,单脉冲能量为30~35J,脉冲宽度为0.3~0.6ms,重复频率为10~50Hz;
S504、根据微通过阵列图样参数,控制扫描振镜X、Y偏转方向,使其在Cu基底表面自动准确定位打孔位置;
S505、运行激光打孔,微通孔的直径为0.3~0.5mm,通孔间距为2~3mm,微通孔形状包括圆形、正三角形、正方形、正六边形或正八边形。