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专利号: 201910964596X
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置,其特征在于:由光源调制组件、缺陷深度检测组件、二维移动平台(5)以及计算机控制平台组成,所述光源调制组件的光路垂直于二维移动平台(5)布置,从上至下依次包括紫外激光器(1)、窄带滤光片(2),光束整形组件(3);所述缺陷检测组件的光路与光源调制组件的光路成夹角布置,依次包括窄带滤光片(6),显微镜头(7)和CCD探测器(8);计算机控制平台(9)分别与CCD探测器(8)和二维移动平台(5)相连。

2.如权利要求1所述装置进行非破坏性光学元件亚表面缺陷深度的检测方法,其特征在于:首先将亚表面缺陷中渗有量子点的被测件(4)放置于二维平移台(5)上,紫外激光器(1)发射紫外激光先通过窄带滤光片(2)筛选所需波长,再通过光束整形组件将激光整形为细光束,穿过被测件(4)的表面激发渗入样件亚表面的量子点;被测件(4)内部的量子点受激产生散射荧光信息,经过窄带滤光片(6)筛选波长后通过显微镜头(7)成像于CCD探测器(8);计算机控制平台(9)根据CCD成像信息,结合CCD相机标定结果,得到被测件亚表面缺陷的深度信息,同时,计算机控制平台(9)可以控制二维位移平台(5)实时运动,得到被测样件(8)的不同位置亚表面缺陷的实时光场分布。