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专利号: 2019109947635
申请人: 衡水学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-11-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种提纯硅的装置,其特征在于包括坩埚(1),所述坩埚(1)内设置有温度定向控制管(1-1),所述控制管的下端延伸至所述坩埚(1)的底部以下,且所述控制管的上端与所述坩埚(1)的上端开口齐平;所述坩埚(1)的外周设置有加热器组(6),所述加热器组(6)的外侧设置有行波磁场发生器(3),且所述行波磁场发生器(3)在发生器上下驱动装置的驱动下可上下运动,所述发生器上下驱动装置受控于所述凝固控制器(15),位于所述坩埚(1)内的所述控制管内设置有陶瓷杆(18),所述陶瓷杆(18)的下端设置有加热丝(19),所述陶瓷杆(18)的外侧端部设置有陶瓷杆上下驱动装置,所述陶瓷杆上下驱动装置受控于所述凝固控制器(15),所述加热丝(19)下侧的温度定向控制管(1-1)内设置有注液管(14),所述温度定向控制管(1-1)的下侧端口的下方设置有Ga-In-Sn回流槽(7),所述回流槽内设置有第一液位器(20),所述第一液位器(20)用于感应所述回流槽内回流的Ga-In-Sn合金液(8)的液位高度,所述注液管(14)的下端延伸至所述温度定向控制管(1-1)的外侧,且所述注液管(14)的下端穿过所述Ga-In-Sn回流槽(7)的底部进入到所述回流槽下侧的Ga-In-Sn注入槽(11)内,所述Ga-In-Sn注入槽(11)内设置有冷却Ga-In-Sn合金液(10),且所述Ga-In-Sn注入槽(11)内设置有第二液位器(21),所述第二液位器(21)用于感应所述注入槽内Ga-In-Sn合金液的液位高度,所述注液管(14)的下端位于注入槽内冷却Ga-In-Sn合金液(10)的液面以下,所述Ga-In-Sn注入槽(11)的侧壁上设置有与其相连通的调压管(9),所述Ga-In-Sn注入槽(11)的下侧设置有升降平台(12),所述升降平台(12)用于驱动所述注入槽上下运动,从而带动所述注液管(14)上下运动,所述升降平台(12)受控于所述凝固控制器(15)。

2.如权利要求1所述的提纯硅的装置,其特征在于:所述坩埚(1)的上端开口内设置有投料管(16),所述投料管(16)用于向所述坩埚(1)内投入粗硅(17)。

3.如权利要求1所述的提纯硅的装置,其特征在于:所述行波磁场发生器(3)的外侧设置有保温套(2),所述保温套(2)用于维持所述坩埚(1)内的温度,行波磁场发生器(3)内部具有水冷装置,外部具有隔热保护层。

4.如权利要求1所述的提纯硅的装置,其特征在于:所述注液管(14)与所述回流槽的接触处设置有密封圈(13),所述密封圈(13)用于防止回流的Ga-In-Sn合金液外泄。