1.一种晶圆的清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1.首先将晶圆置于真空环境中，然后利用强光对晶圆表面进行照射，照射5-10min之后，关闭光源，将晶圆翻到另一面，继续照射5-10min之后取出；

S2.配置好晶圆清洗液，将晶圆放置于清洗液中，首先让晶圆在清洗液中浸泡15-

30min，然后在使用毛刷对晶圆的表面进行刮刷，反复刮刷3-5次之后取出，然后使用蒸馏水将晶圆的表面冲洗干净；

S3.将晶圆送入到真空箱体中，在真空箱体中设置旋转设备，晶圆置于旋转设备中进行转动，首先往真空箱体中通入适量的氮气，真空箱体中的氮气达到预定值之后，再往真空箱体中通入水蒸气，5-10min之后关闭所有设备，待真空箱体中温度降至40℃以下时，取出箱体内的晶圆；

S4.再次将晶圆送入到真空环境中，然后利用高压水泵以及雾化喷头抽取清洗液并将清洗液进行雾化，使用雾化之后的清洗液对晶圆进行喷淋，3-5min之后取出晶圆，然后使用蒸馏水将晶圆的表面冲洗干净，最后将晶圆进行干燥处理即可。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的清洗方法，其特征在于：所述清洗液由以下重量份成分组成：去离子水10-12份、磺酸钠3-4份、柠檬酸2-3份、氟化氨1-2份。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆的清洗方法，其特征在于：所述清洗液由以下重量份成分组成：去离子水12份、磺酸钠4份、柠檬酸3份、氟化氨2份。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆的清洗方法，其特征在于：所述清洗液由以下重量份成分组成：去离子水11份、磺酸钠3.5份、柠檬酸2.5份、氟化氨1.5份。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆的清洗方法，其特征在于：所述清洗液由以下重量份成分组成：去离子水10份、磺酸钠3份、柠檬酸2份、氟化氨1份。