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专利号: 2019110607117
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种双波长调频连续波激光干涉高精度绝对测量方法,其特征在于:步骤一:利用两个中心波长不同的调频连续波激光干涉仪同时测量待测目标,两个调频连续波激光干涉仪中的两个激光器使用同样的调制波形,进行同步调制和解调,步骤二:根据两个调频连续波激光干涉仪分别在参考位置和待测位置测得的干涉级小数部分,计算出其中一个干涉仪所得干涉级变化量的整数和尾数,由此计算出对应光程差变化量的绝对值;

上述步骤二的具体步骤是:

首先分别测量调频连续波激光干涉仪在参考位置和待测位置的干涉级小数部分,当光程差在一个合成波长内变化时,设第一次测量时两个干涉信号干涉级的尾数是ε10、ε20,第二次测量时两个干涉信号干涉级的尾数是ε1、ε2,令δε1=ε1‑ε10,δε2=ε2‑ε20,然后计算第一个干涉信号两次测量对应的干涉级整数部分:(1)当ε2‑ε1>0、ε20‑ε10>0,或ε2‑ε1<0、ε20‑ε10<0时,(2)当ε2‑ε1>0、ε20‑ε10<0时,(3)当ε2‑ε1<0、ε20‑ε10>0时,最后计算第一个干涉信号两次测量光程差变化量ΔOPD:(1)当δε1>0时,

ΔOPD=(δN1+δε1)λ1(2)当δε1<0时,

ΔOPD=(δN1+δε1‑1)λ1。