欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2019110833851
申请人: 中国科学院深圳先进技术研究院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-11-13
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种光学显微装置,包括:

光源组件(101),用于产生入射至样品目标区域的入射光;

聚焦组件(103),用于将入射光聚焦至所述样品目标区域;

共振振镜(102),用于通过扫描的方式改变所述聚焦组件(103)于所述样品目标区域形成的焦点的位置;

光电检测组件(104),接收所述样品目标区域受聚焦后的入射光束照射而产生的光信号,并将该光信号转换为电信号;

锁相放大器(105),收集所述光电检测组件(104)的电信号,基于所述共振振镜(102)时钟信号与所述锁相放大器(105)参考信号之间的关联输出焦点处的电信号。

2.根据权利要求1所述的光学显微装置,其特征在于,所述共振振镜(102)时钟信号与所述锁相放大器(105)参考信号之间的关联具体为:将所述共振振镜(102)的时钟信号作为所述锁相放大器(105)的参考信号;

或者,将所述锁相放大器(105)的参考信号作为所述共振振镜(102)的触发信号,并且所述锁相放大器(105)提供的触发信号频率不高于所述共振振镜(102)的扫描频率。

3.根据权利要求1所述的光学显微装置,其特征在于,所述共振振镜(102)的扫描范围为快扫方向分辨率的3-5倍。

4.根据权利要求3所述的光学显微装置,其特征在于,所述共振振镜(102)的扫描方向与快扫方向垂直。

5.根据权利要求1或3所述的光学显微装置,其特征在于,所述共振振镜(102)的扫描速度为4kHz或8kHz或12kHz。

6.据权利要求1所述的光学显微装置,其特征在于,所述共振振镜(102)采用外部时钟进行触发或者采用内部时钟进行触发。

7.根据权利要求1所述的光学显微装置,其特征在于,所述聚焦组件(103)包括载物台(1036),所述载物台能够在一个方向、两个方向或者三个方向上移动。

8.根据权利要求7所述的光学显微装置,其特征在于,所述聚焦组件(103)还包括扫描振镜(1031),所述扫描振镜(1031)和所述载物台(1036)配合以实现在样品不同的目标区域聚焦入射光。

9.一种使用权利要求1-8任一项所述光学显微装置的方法,其包括如下步骤:S1、产生用于照射样品目标区域的入射光;

S2、采用聚焦组件(103)实现对样品目标区域聚焦扫描;

S3、通过共振振镜(102)的扫描,对样品目标区域的焦点产生调制;

S4、接收样品目标区域产生的光信号,并将光信号转换为电信号;

S5、将所述电信号接入锁相放大器(105),基于所述共振振镜(102)时钟信号与所述锁相放大器(105)参考信号之间的关联输出焦点处的电信号。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,还包括判断目标区域在所述样品中的位置,当目标区域位于所述样品表面处时,所述步骤S2中共振振镜(102)不对焦点产生调制。