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专利号: 2019110846495
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器,自上而下依次是上电极(1)、欧姆接触层(2)、上分布布拉格反射镜(3)、氧化物限制层(4)、有源增益区(5)、下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8);上电极(1)、氧化物限制层(4)的形状为内径相同的环形,所述环形的宽度为3μm~5μm,所述环形的外径为115μm~125μm;其特征在于,在下分布布拉格反射镜(6)、衬底(7)、下电极(8)的中心部分存在一个圆柱形空心区域(11),所述圆柱形空心区域(11)的顶面高度低于下分布布拉格反射镜(6)的内镜面、高于下分布布拉格反射镜(6)的外镜面,所述圆柱形空心区域(11)的直径为85μm~95μm,在所述圆柱形空心区域(11)中填充有高导热率焊料(12)。

2.根据权利要求1所述的环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器,其特征在于,所述圆柱形空心区域(11)的高度为140~150μm。

3.根据权利要求1所述的环形结构下分布布拉格反射镜垂直腔面发射半导体激光器,其特征在于,所述高导热率焊料(12)为金锡合金或者有机铟化合物。