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专利号: 2019111018548
申请人: 天津理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种铈掺杂的单分子层二硫化钨薄膜的制备方法,其特征在于,利用滑轨式单温区管式炉,以草酸铈作为掺杂剂对二硫化钨薄膜进行掺杂,包括以下步骤:步骤一,用乙醇及去离子水对衬底进行清洗并干燥;

步骤二,使用滑轨式单温区管式炉,固定WO2.9并按照质量比1:(8~12)将草酸铈和WO2.9置于石英舟1(参见图1)内且掺入氯化钠形成混合物,把衬底放置在石英舟1上,且SiO2面与混合物相对;

步骤三,将石英舟1推进石英管内,并且置于加热炉膛一侧边缘,将放有硫粉的石英舟2(参见图1)置于加热炉膛外侧,且石英舟1与石英舟2的距离为加热炉膛尺寸的一半;

步骤四,关闭石英管并抽真空5 10分钟,载气为高纯氩气;高纯氩气洗气后设置流速为~

80 120sccm;

~

步骤五,温区以每分钟35 40摄氏度的速率将温度上升到1050 1200摄氏度并保温,在~ ~此期间不断地移动加热炉膛,直至加热炉膛边缘贴近石英舟2边缘且此时温度达到1050~

1200摄氏度;

步骤六,以每分钟50摄氏度的降温速率退火且降至1040摄氏度并保温5 10分钟;然后~自然降温,得到铈掺杂的单分子层二硫化钨薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤一中所述的衬底选自SiO2/Si、蓝宝石、云母中的一种。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:步骤二中,掺入质量为WO2.9质量的10~

20%(质量比)的氯化钠形成混合物。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:步骤五中,温区以每分钟38摄氏度的速率将温度上升到1050 1200摄氏度。

~

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:步骤五中,温度上升到1050 1200摄氏度后~保温5分钟。

6.根据权利要求1-5所述的方法制备获得的铈掺杂的单分子层二硫化钨薄膜。