1.一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:包括:待测激光源,用于发射待测激光束;
分光镜,用于接收待测激光束,并将待测激光束透射至楔形反光镜,以及反射至透镜;
楔形反光镜,用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜;
透镜,用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束,并将待测激光束透射至光电探测器;
光电探测器,用于接收透镜透射的待测激光束;
处理器,与光电探测器电连接,用于检测光电探测器上产生的干涉现象。
2.根据权利要求1所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述楔形反光镜连接有精密位移装置,用于带动楔形反光镜在其水平方向上移动。
3.根据权利要求1所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机。
4.根据权利要求3所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述楔形反光镜包括反光面,所述分光镜与楔形反光镜的反光面平行设置。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述透镜为凸透镜。
6.根据权利要求5所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述光电探测器设置于凸透镜的焦点处。
7.根据权利要求1所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:还包括壳体,所述基于干涉方式的激光波长测量装置设置于壳体内,且待测激光源、分光镜、透镜、光电探测器、精密位移装置分别相对于壳体固定设置。
8.一种基于干涉方式的激光波长测量方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:将待测激光源、分光镜、透镜、光电探测器以及精密位移装置固定设置在壳体内;
步骤S2:开启待测激光源,移动楔形反光镜的位置,使得楔形反光镜能接收到待测激光束;
步骤S3:控制精密位移装置带动楔形反光镜在水平方向/垂直方向上移动,使得光电探测器上产生相长干涉/相消干涉现象,处理器记录楔形反光镜的位移量X1;
步骤S4:继续控制精密位移装置带动楔形反光镜在水平方向/垂直方向上移动,直到光电探测器上产生下一个相长干涉/相消干涉现象,处理器记录楔形反光镜的位移量X2;
步骤S5:处理器根据楔形反光镜两次水平移动/垂直移动的位移量以及楔形反光镜的反光面与水平方向上的角度、入射至反光面的待测激光束与反光面的角度,计算出待测激光束的波长。
9.根据权利要求8所述的一种基于干涉方式的激光波长测量方法,其特征在于:所述步骤S1中将分光镜与楔形反光镜的反光面平行设置。
10.根据权利要求8所述的一种基于干涉方式的激光波长测量方法,其特征在于:所述步骤S1中将光电探测器设置于透镜的焦点处。