1.一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,包括X轴框架和第一柔性铰链平台,所述X轴框架外接Y轴框架的Y轴驱动装置的动力输出端,Y轴驱动装置驱动X轴框架沿Y轴方向滑动,所述第一柔性铰链平台的X轴方向的侧面通过柔性铰链连接于X轴框架上,所述第一柔性铰链平台的Y轴方向的侧面通过弹簧片式柔性铰链安装于X轴框架上;所述第一柔性铰链平台设于Y轴方向的每一条导轨上,隔离导轨摩擦的影响;所述第一柔性铰链平台通过导向机构安装于Y轴框架上。
2.根据权利要求1所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述弹簧片式柔性铰链的两端固定安装于X轴框架上,所述第一柔性铰链平台的Y轴方向的侧面与弹簧片式柔性铰链的中部连接。
3.根据权利要求2所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述第一柔性铰链平台的Y轴方向的侧面通过压块与弹簧片式柔性铰链连接。
4.根据权利要求1所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述导向机构包括直线导轨和可滑动安装于直线导轨上的滑块,所述直线导轨固定安装于Y轴框架上,所述滑块与所述第一柔性铰链平台固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述Y轴驱动装置包括伺服电机、滚珠丝杠和传动连接于滚珠丝杠上的螺母,所述滚珠丝杠可旋转安装于Y轴框架上,所述螺母与所述X轴框架固定连接,所述伺服电机固定安装于Y轴框架上,且伺服电机的转轴与滚珠丝杠固定连接。
6.根据权利要求1或2所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述X轴框架上设有Y轴刚柔耦合运动平台,Y轴刚柔耦合运动平台包括X轴驱动装置、基架、第二柔性铰链平台和至少两组第二弹簧片式柔性铰链,每组第二弹簧片式柔性铰链分别设于基架的两个相对的侧面上;所述第二柔性铰链平台套设于基架的凹槽内,且第二柔性铰链平台不与基架接触;所述第二柔性铰链平台的两侧面与第二弹簧片式柔性铰链固定连接,所述第二柔性铰链平台与X轴驱动装置的动力输出端连接,所述第二弹簧片式柔性铰链的主工作方向为第二柔性铰链平台的位移方向。
7.根据权利要求6所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述基架的侧面上开有切口,所述第二弹簧片式柔性铰链覆盖且固定在切口上,所述第二柔性铰链平台的侧面上设有凸起,所述凸起伸入切口内且与第二弹簧片式柔性铰链固定连接。
8.根据权利要求6所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述第二弹簧片式柔性铰链的上表面通过上压块和下压块连接于基架上,所述第二柔性铰链平台通过中压块连接于第二弹簧片式柔性铰链,所述中压块设于上压块和下压块之间。
9.根据权利要求6所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述基架的内底面开有开口,所述X轴驱动装置的动力输出端通过开口与所述第二柔性铰链平台的底面固定连接。
10.根据权利要求6或9所述的一种滚珠丝杠驱动的一体式多自由度刚柔耦合运动平台,其特征在于,所述X轴驱动装置包括滚珠丝杠、螺母和固定安装于X轴框架上的伺服电机,所述滚珠丝杠可旋转安装于X轴框架上,所述螺母与滚珠丝杠传动连接,伺服电机的转轴与滚珠丝杠固定连接;
所述基架的底端固定安装有滑块,所述X轴框架上设有直线导轨,所述滑块可滑动安装于直线导轨上。