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专利号: 2019204729790
申请人: 浙江硕和机器人科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-11-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种气密性检测装置,其特征在于:包括工作台(1)、气源(2)、电压传感器(3)和用于固定芯片的夹具(4),所述气源(2)和电压传感器(3)设置在工作台(1)上,所述电压传感器(3)上设置有用于连接芯片的接头(31),所述夹具(4)包括底座(41)、夹臂(42)和用于驱动夹臂(42)的夹持气缸(43),所述底座(41)设置在工作台(1)上,所述底座(41)上开设有气体通道,所述气体通道的一端与气源(2)连接,另一端设置有与芯片连接的连接口,所述夹持气缸(43)固定在底座(41)上,所述夹臂(42)滑移安装在底座(41)上,并与夹持气缸(43)的输出端连接,从而随夹持气缸(43)的动作,夹住或放开芯片。

2.根据权利要求1所述的一种气密性检测装置,其特征在于:所述底座(41)包括底板(411)、夹板(412)和安装板(413),所述夹板(412)和安装板(413)固定在底板(411)上并间隔设置,所述夹板(412)上开设有夹孔(414),所述夹臂(42)有两根,且均呈L型,两根所述夹臂(42)的一端穿过夹孔(414)与夹持气缸(43)连接,另一端相向设置,在夹持气缸(43)运行时,将芯片夹持在夹臂(42)与夹板(412)之间或放开芯片。

3.根据权利要求2所述的一种气密性检测装置,其特征在于:所述夹臂(42)朝向夹板(412)的一面上固定有缓冲板(415)。

4.根据权利要求3所述的一种气密性检测装置,其特征在于:还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手,所述架子包括支架(51)、用于放置芯片的置物盘(52)和用于移动置物盘(52)的横向移动机构,所述支架(51)设置在工作台(1)的一侧,所述置物盘(52)滑移设置在支架(51)的顶部,所述横向移动机构包括横向电机(53)、横向丝杆(54)和横向导柱(55),所述横向电机(53)固定在支架(51)上,所述横向丝杆(54)转动安装在支架(51) 上,所述横向导柱(55)固定在支架(51)上,所述置物盘(52)的两个侧边上分别固定有一个连接块(56),一个所述连接块(56)上开设有横向螺纹孔,所述横向螺纹孔与横向丝杆(54)啮合,另一个所述连接块(56)上开设有横向导孔,所述横向导柱(55)穿设在横向导孔内,所述机械手包括行架(61)、气爪(62)、升降气缸(68)、和用于移动气爪(62)与升降气缸(68)的纵向移动机构,所述行架(61)架设在工作台(1)和支架(51)上,所述纵向移动机构包括纵向电机(63)和纵向丝杆(64),所述纵向电机(63)固定在行架(61)上,所述纵向丝杆(64)转动设置在行架(61)上,并与纵向电机(63)连接,所述行架(61)上设置有纵向导轨(66),所述升降气缸(68)可滑移的设置在纵向导轨(66)上,所述升降气缸(68)上连接有纵向螺套(67),所述纵向螺套(67)与纵向丝杆(64)啮合,所述气爪(62)固定在升降气缸(68)的输出端上。

5.根据权利要求4所述的一种气密性检测装置,其特征在于:所述支架(51)上设置有用于检测置物盘(52)位置的检测装置,所述检测装置包括本体(71)、探针(72)和复位弹簧(75),所述本体(71)上设置有延时装置和启闭按钮(73),所述探针(72)铰接在本体(71)上,所述置物盘(52)的边沿上均匀排布有触碰块(74),当探针(72)的一端接触到触碰块(74)时,探针(72)的另一端触碰启闭按钮(73),延时装置延时关闭横向电机(53),所述复位弹簧(75)设置在本体(71)与探针(72)之间,推动探针(72)远离启闭按钮(73)。

6.根据权利要求5所述的一种气密性检测装置,其特征在于:所述工作台(1)上设置有用于插拔接头(31)的插拔机构,所述插拔机构包括插拔气缸(81)和插拔套(82),所述插拔气缸(81)固定在底座(41)上,所述插拔套(82)的一端与插拔气缸(81)的输出端连接,另一端与接头(31)连接,以在插拔气缸(81)运行时,将接头(31)与芯片连接或将接头(31)与芯片分开。