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专利号: 2019204914965
申请人: 青岛科技大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-08-31
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种评估半导体屏蔽材料发射性能的测试装置,其特征在于,包括真空控制系统、性能测试系统,其中,性能测试系统包括测试室、测试样品、载物台、阳极、电流表、保护电阻、高压直流电源,所述测试样品固定在载物台上作为阴极,阳极接高压直流电源的正极端,测试样品接高压直流电源的阴极端,高压直流电源的阴极端接地,保护电阻和电流表串联在电路中,所述阳极、阴极均位于测试室中,所述真空控制系统控制测试室为真空状态。

2.根据权利要求1所述的一种评估半导体屏蔽材料发射性能的测试装置,其特征在于,所述真空控制系统包括控温装置和分子泵。