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专利号: 2019208818952
申请人: 无锡新微阳科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-02-24
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:包括若干吹尘枪(6),探针台主体(1)上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆(4),若干支撑杆(4)围绕放置槽(2)设置,若干支撑杆(4)的顶端连接有同一个承托圆环(5),吹尘枪(6)连接在承托圆环(5)上,吹尘枪(6)的喷嘴朝向放置槽(2)内,吹尘枪(6)的进气端套设有进气软管(7),进气软管(7)远离吹尘枪(6)的一端连通有高压存气罐(8),进气软管(7)的管身上连接有第一通气阀(23)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:吹尘枪(6)转动连接在承托圆环(5)上,探针台主体(1)的上表面设有驱动马达(9),驱动马达(9)的输出轴固定套设有转动圆盘(10),转动圆盘(10)背离驱动马达(9)的一侧连接有转动销(11),转动销(11)位于转动圆盘(10)的边沿处,转动销(11)上转动连接有转动杆(12),转动杆(12)远离转动销(11)的一端转动连接于吹尘枪(6)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:吹尘枪(6)的枪嘴螺纹连接有密封套筒(14)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:进气软管(7)上连接有过滤箱(15),过滤箱(15)内设有空气过滤棉(16)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:过滤箱(15)内设置有过滤框(17), 过滤框(17)内设有干燥剂(18)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:过滤箱(15)的侧壁开有更换口(19),过滤框(17)滑移在过滤箱(15)内,空气过滤棉(16)和干燥剂(18)位于过滤框(17)内,更换口(19)上铰接有密封门板(20),密封门板(20)和过滤箱(15)的侧壁螺栓连接有同一个搭扣(21)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:更换口(19)的四周粘贴有密封橡胶垫(22)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆检测用除尘装置,其特征在于:吹尘枪(6)上连接有第二通气阀(13)。