1.一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:包括设置在晶圆匣框体(101)上的锁定机构和设置在探针台机架(102)上的解锁机构,所述锁定机构包括成对设置在框体(101)两侧的基座(1),所述基座(1)沿竖直方向设置,基座(1)上设有若干组锁定杆(2)、齿轮(3)、解锁杆(4)和用于使锁定杆(2)回到原位的复位件,与框体(101)上的沟槽(103)分别对应,所述锁定杆(2)和解锁杆(4)均与框体(101)的侧壁垂直,并沿自身长度方向滑动设置在基座(1)上,锁定杆(2)和解锁杆(4)分别设置在齿轮(3)两侧,与齿轮(3)啮合,且锁定杆(2)一端穿入框体(101)侧壁,并延伸至沟槽(103)内,所述解锁机构包括成对设置在框体(101)两侧的楔块(5),所述楔块(5)与机架(102)固接,与上片机构(104)齐平,楔块(5)的上表面朝向框体(101)倾斜设置,并与解锁杆(4)背向框体(101)的一端相抵。
2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述锁定杆(2)背向沟槽(103)一端从基座(1)上穿出,所述复位件包括凸缘(6)和复位弹簧(7),所述凸缘(6)与锁定杆(2)背向沟槽(103)的一端固接,所述复位弹簧(7)套设在锁定杆(2)上,复位弹簧(7)一端与凸缘(6)相连,另一端与基座(1)相连。
3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述复位件包括设置在解锁杆(4)上的磁铁(8),且磁铁(8)位于解锁杆(4)背向框体(101)一端,所述楔块(5)采用铁磁性材料,楔块(5)的下表面朝向框体(101)倾斜设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述基座(1)内部转动架设有转轴(11),所述转轴(11)沿竖直方向设置,所述齿轮(3)套设在转轴(11)上,所述复位件包括套设在转轴(11)上的扭簧(9),所述扭簧(9)一端与转轴(11)相连,另一端与基座(1)相连。
5.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述楔块(5)的上表面开设有导向槽(51),所述解锁杆(4)背向框体(101)一端与导向槽(51)滑动配合。
6.根据权利要求5所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述导向槽(51)的槽底嵌设有若干滚轮(52)。
7.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述锁定杆(2)位于沟槽(103)内的一端设有弹性杆头(21)。
8.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述基座(1)内部设有限位槽(12),所述限位槽(12)呈弧形,限位槽(12)的圆心为齿轮(3)的轴心,所述齿轮(3)上设有限位杆(31),所述限位杆(31)沿竖直方向设置,限位杆(31)背向齿轮(3)一端滑动设置在限位槽(12)内。