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专利号: 2019208821048
申请人: 无锡新微阳科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-08-20
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:包括成对设置的第一支撑臂(1)和第二支撑臂(2),所述第一支撑臂(1)与片盒升降机构(5)的上表面固接,所述第二支撑臂(2)与晶圆匣的框体(6)底面相抵,第二支撑臂(2)一端与第一支撑臂(1)铰接,另一端与第一支撑臂(1)之间设有第三支撑臂(3),所述第三支撑臂(3)位于晶圆匣的晶圆入口一端。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述第一支撑臂(1)朝向第三支撑臂(3)一端的上表面开设有燕尾槽(11),且燕尾槽(11)沿第一支撑臂(1)的长度方向设置,所述第三支撑臂(3)沿竖直方向设置,第三支撑臂(3)底端滑动设置在燕尾槽(11)内,顶端与第二支撑臂(2)的下表面相抵。

3.根据权利要求2所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述第二支撑臂(2)的下表面开设有限位槽(21),所述限位槽(21)沿第二支撑臂(2)的长度方向设置。

4.根据权利要求3所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述第三支撑臂(3)顶端铰接有锯齿头(31),所述锯齿头(31)与限位槽(21)的槽底相抵,锯齿头(31)背向第三支撑臂(3)的一侧设有锯齿,所述限位槽(21)的槽底对应设有锯齿部(22)。

5.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述第二支撑臂(2)朝向第三支撑臂(3)一端的下表面开设有腰型槽(23),且腰型槽(23)沿第二支撑臂(2)的长度方向设置,所述第三支撑臂(3)沿竖直方向设置,第三支撑臂(3)底端与第一支撑臂(1)固接,第三支撑臂(3)顶部套设有螺母(32),顶端穿设于腰型槽(23)内,所述螺母(32)与第二支撑臂(2)的下表面相抵。

6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:两个所述第二支撑臂(2)相背的一侧分别设有侧板(24),所述侧板(24)沿竖直方向设置,侧板(24)上穿设有紧固螺杆(25),所述紧固螺杆(25)与侧板(24)螺纹配合,紧固螺杆(25)指向框体(6)的侧壁。

7.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述第二支撑臂(2)背向第三支撑臂(3)的一端设有限位挡板(26),所述限位挡板(26)与框体(6)背向晶圆入口的一侧相抵。

8.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其特征在于:所述第二支撑臂(2)之间设有横梁(4)相连。

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