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专利号: 2019214566376
申请人: 安顺学院
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-11-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多晶硅铸锭炉矢量喷气装置,其特征在于:包括铸锭炉(1)和氩气进气管(2),所述铸锭炉(1)顶端设有支撑架(3),所述支撑架(3)顶端一侧竖直方向固定设有单活塞杆双作用气缸(4),所述氩气进气管(2)套设在一喷气管(5)上,所述喷气管(5)一侧水平方向固定设有连接杆(6),所述连接杆(6)远离喷气管(5)的一端与单活塞杆双作用气缸(4)的伸缩杆相连,所述喷气管(5)底端连接有交换箱(7),所述交换箱(7)内部底端上设有电机(8),所述电机(8)输出轴通过联轴器连接有转轴,所述转轴上套设有第一齿轮,所述交换箱(7)内部底端开设有通孔,所述通孔内设有轴承(9),一连接管(12)穿过轴承(9)的孔中,位于交换箱(7)内的连接管(12)上套设有第二齿轮,所述第二齿轮啮合于第一齿轮,所述铸锭炉(1)顶端开设有孔,所述连接管(12)穿过铸锭炉(1)顶端的孔,所述连接管(12)底端上设有氩气喷头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉矢量喷气装置,其特征在于:所述铸锭炉(1)顶端孔的上下两侧分别设有橡胶密封圈。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅铸锭炉矢量喷气装置,其特征在于:所述氩气进气管(2)远离喷气管(5)的一侧上设有一氩气流量计(11)。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅铸锭炉矢量喷气装置,其特征在于:所述氩气喷头(10)为扇形氩气喷头。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅铸锭炉矢量喷气装置,其特征在于:所述电机(8)为微型电机。