1.一种减小机械臂振动的力控末端执行机构，包括与工业机器人连接的末端执行器，其特征在于，所述末端执行器包括：音圈电机，包括相互配合的动子（10）和定子（11），所述动子（10）和定子（11）中的任一者与滑块（13）固定连接，另一者与直线导轨（8）固定连接，所述滑块（13）与直线导轨（8）滑动配合；

位移传感器（4），至少用于检测所述动子（10）与定子（11）的相对位移；

力传感器（15），至少用于测量所述末端执行器与工件表面接触力的大小；

第一传感器（9），至少用于检测在工作时所述末端执行器与工件接触产生的位移信号、速度信号或加速度信号；以及第二传感器（12），至少用于检测在工作时所述工业机器人末端受到末端执行器反作用力而产生的位移信号、速度信号或加速度信号。

2.根据权利要求1所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述音圈电机的定子（11）、动子（10）分别与第二底座（6）、第一底座（7）固定连接，所述第二底座（6）、第一底座（7）分别与直线导轨（8）、滑块（13）固定连接，所述力传感器（15）及第一传感器（9）均安装在第一底座（7）上，所述第二传感器（12）安装在第二底座（6）上，并且所述第二底座（6）与工业机器人末端固定连接。

3.根据权利要求2所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述第二底座（6）通过直线导轨固定板（2）与直线导轨（8）固定连接，所述第一底座（7）通过滑块固定板（14）与滑块（13）固定连接。

4.根据权利要求3所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述直线导轨固定板（2）还与限位机构固定连接，所述限位机构用于限制滑块（13）相对于直线导轨（8）的位置。

5.根据权利要求4所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述限位机构包括限位块（1）。

6.根据权利要求1所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述第一传感器（9）、第二传感器（12）包括位移传感器、速度传感器或加速度传感器。

7.根据权利要求1所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述位移传感器包括光栅位移传感器（4）。

8.根据权利要求3所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述直线导轨固定板（2）通过一脚架与第二底座（6）连接，所述滑块固定板（14）通过另一脚架与第一底座（7）连接。

9.根据权利要求3所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述直线导轨固定板（2）侧边安装有传感器支架（3），所述传感器支架（3）内侧与滑块固定板（14）之间留有间隙，所述位移传感器（4）固定在传感器支架（3）上，与所述位移传感器（4）匹配的光栅尺固定在滑块固定板（14）的侧面，使所述位移传感器（4）的读头正对光栅尺。

10.根据权利要求2所述的力控末端执行机构，其特征在于：所述第二底座（6）通过工业机器人连接板与工业机器人末端法兰固定连接。