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专利号: 2020100315717
申请人: 五邑大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕
更新日期:2024-08-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法,其特征在于,步骤包括:S1:将衬底置于过滤篮底部,再将过滤篮浸入前驱体溶液中;

S2:向前驱体溶液表面滴加微球溶液;

S3:向上提升过滤篮至过滤篮底部离开前驱体溶液,取出衬底并加热,得到前驱体薄膜;

S4:将前驱体薄膜升温后烧结,即得所述阵列式多孔氧化物薄膜;

所述过滤篮具有底板及围绕所述底板形成的侧壁,所述底板上分布有过滤孔,所述侧壁与所述底板之间的夹角为90~150°;

在所述过滤篮中铺设滤纸,再将所述衬底放置于滤纸上。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述前驱体溶液为金属硝酸盐溶液、金属醋酸盐溶液、金属硫酸盐溶液和金属碳酸盐溶液中的一种。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述前驱体溶液的浓度为0.001~

0.5mol/L。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S1中,过滤篮浸入前驱体溶液后,衬底距离前驱体溶液液面的距离为5~20cm。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述微球为聚苯乙烯微球。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S2中,微球溶液的滴加量L的计算2

方法为:L={S/[π(d/2) ]}/c,其中S为过滤篮底板面积,d为微球直径,c为微球溶液浓度。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S3中,向上提升过滤篮的速率为

0.5~5mm/min。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S3中,所述加热的温度为80~200℃,加热的时间为30~10min。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S4中,升温的速率为1~5℃/min。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S4中,烧结的温度为600~900℃,烧结的时间为30~240min。