1.基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器,为双端口器件,其特征在于:顶层包括金属补丁、两条微带线和两个SMA连接头;
中间层为介质板;
底层包括金属薄片、刻槽CSRR结构、一个内部挖有微流体通道的PDMS;
所述金属补丁的上端中心开有阶梯状槽,该槽中心与第一微带线的一端连接,下端中心同样开有阶梯状槽,该槽中心与第二微带线的一端连接,第一、二微带线的另一端分别作为输入端口、输出端口,两个端口分别用于连接SMA连接头,所述SMA连接头与矢量网络分析仪相连通;
阶梯状槽的靠近微带线的第一阶高度b与第二阶高度a均为2mm,阶梯状槽的靠近微带线的第一阶宽度d为1mm;
所述的第一、二微带线为楔形状;
所述金属补丁四周除第一、二微带线附近区域设有若干等距排布的金属通孔,用以耦合底层金属薄片;
由金属补丁、微带线、介质板、金属薄片、金属通孔构成SIW,金属通孔的孔直径D和孔间距V必须满足D<λg/5且V≤2D,其中λg表示波长;
所述金属薄片刻蚀有一个CSRR槽环结构;CSRR槽环开口对应边中间段为折线,该折线由多个 “凵”结构通过水平连接线构成,该开口对应边与折线的水平连接线位于同一直线;
折线区结构实现最大的边缘电场效应,使得该区域电场强度最强,用来测量乙醇混合溶液的介电常数;
微流体通道位于刻槽CSRR结构折线区域正下方,且与折线区域结构完全重合。
2.如权利要求1所述的基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器,其特征在于所述的第一、二微带线与金属补丁连接部分为放大端;所述的第一、二微带线的非放大端部分的宽度均为1.67mm。
3.如权利要求1或2所述的基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器,其特征在于所述介质板为罗杰斯4350系列的方形介质板,其介电常数为3.66,损耗角正切为
0.004,厚度是0.813mm。
4.如权利要求1或2所述的基于衬底集成波导超高灵敏度的微波微流控传感器,其特征在于所述刻槽金属CSRR结构的尺寸设置:长h为12mm,宽为7.555mm,其中刻槽的槽宽g为
0.3mm。