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专利号: 2020100654294
申请人: 江苏师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶硅光栅导模共振滤波器,其特征在于,包括:锗薄膜层(1)和单晶硅光栅层(2);所述单晶硅光栅层(2)的顶端具有多个尺寸相同的锯齿状突起,各个锯齿状突起的底边均在底边直线上,各个锯齿状突起的两条侧边与底边直线所成的夹角相等;所述锗薄膜层(1)为将锗镀在所述锯齿状突起的表面形成的第一薄膜层;

所述单晶硅光栅层(2)的各组侧面相互平行,所述单晶硅光栅导模共振滤波器还包括:二氧化硅抗反层(3),所述二氧化硅抗反层(3)为将二氧化硅镀在所述锗薄膜层(1)表面形成的第二薄膜层;

TE线偏振光以垂直于所述底边直线的方向入射到所述二氧化硅抗反层(3)表面,再从所述二氧化硅抗反层(3)表面反射出来得到反射光线,所述反射光线是0级光,反射方向跟入射方向完全相反;

各个锯齿状突起的底边长范围设定为1‑2μm;

所述第一薄膜层的厚度范围设定为200‑600nm;

所述夹角等于54.74度;

所述第二薄膜层的厚度范围设定为200‑600nm。

2.根据权利要求1所述的单晶硅光栅导模共振滤波器,其特征在于,所述单晶硅光栅层(2)构成所述单晶硅光栅导模共振滤波器的基底。