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专利号: 2020100897987
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:包括进样腔(2)、进样机构(3)和传样盒(4),进样腔(2)通过法兰(12)与真空扫描探针显微镜(1)相连,进样机构(3)穿过进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部相连,在进样腔(2)的侧面分布有进样腔观察窗口(23),工作人员通过进样腔观察窗口(23)可以看到进样机构(3)在进样腔(2)与真空扫描探针显微镜(1)内部的工作过程。

2.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述真空扫描探针显微镜(1)包括真空扫描探针显微镜主体(11)和法兰(12),真空扫描探针显微镜主体(11)呈圆柱状结构,真空扫描探针显微镜主体(11)与样品台相连,法兰(12)位于真空扫描探针显微镜主体(11)侧面,用于连接真空扫描探针显微镜(1)与进样腔(2)。

3.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述进样腔(2)包括进样腔腔体(21)、进样口(22)、进样腔观察窗口(23)、操作杆(24)和进样腔盖子(25),进样腔腔体(21)为内部中空的长方体结构,进样口(22)位于进样腔腔体(21)的顶部,进样腔观察窗口(23)的数量为二,对称的分布在进样腔腔体(21)的两侧,进样腔盖子(25)与操作杆(24)相连,操作杆(24)的端部设有操作杆凸起,操作杆凸起呈“T”字形结构,用于打开或关闭传样盒(4)。

4.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述进样机构(3)包括推杆(31)、进样导轨(32)、进样平台(33)和样品刮片(34),进样导轨(32)的数量为二且互相平行,进样导轨(32)的一端位于进样腔(2)内部,进样导轨(32)的另一端位于真空扫描探针显微镜(1)的内部;进样导轨(32)包括层叠的进样上层导轨(321)和进样下层导轨(322),进样平台(33)位于相邻进样导轨(32)之间,安装在进样下层导轨(322);样品刮片(34)位于进样平台(33)上方,安装在进样上层导轨(321);推杆(31)包括推杆主轴(311)、推杆主轴第一挡块(312)、推杆主轴第二挡块(313)和推杆第三挡块(314),推杆主轴第一挡块(312)位于推杆主轴(311)的端部,推杆主轴第三挡块(314)位于推杆主轴(311)的另一端,推杆主轴第二挡块(313)套设在推杆主轴(311)上,推杆主轴(311)呈阶梯式的柱状体结构,推杆主轴第三挡块(314)为半圆柱体结构,推杆主轴(311)中直径较小的端部与推杆主轴第三挡块(314)的半圆柱体结构的直线部分固连;进样平台(33)上设有进样平台槽(331),推杆主轴第三挡块(314)能够在进样平台槽(331)内部转动;

样品刮片(34)呈“回”字形结构,样品刮片(34)上设有样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342),样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)的结构相同,均为圆弧状结构且对称布置;样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)的圆弧弯曲方向相对,即样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)均向样品刮片(34)内部弯曲;样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)位于样品刮片(34)的同一侧,样品刮片(34)上设有样品刮片孔(343),样品刮片孔(343)呈“T”字形结构,样品刮片孔(343)将样品第二刮片(342)分为两段;样品刮片孔(343)与进样平台槽(331)层叠分布,推杆第三挡块(314)能在样品刮片孔(343)内转动。

5.根据权利要求4所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述进样上层导轨(321)和进样下层导轨(322)互相平行且固连为一体状的阶梯结构,进样平台(33)位于进样下层导轨(322)上,样品刮片(34)位于进样上层导轨(321)上。

6.根据权利要求4所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述进样平台(33)上设有结构相同的进样平台第一缺口(332)和进样平台第二缺口(333),进样平台第一缺口(332)和进样平台第二缺口(333)对称分布在进样平台(33)的两端。

7.根据权利要求4所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述样品刮片(34)为薄片结构,样品第一刮片(341)和样品第二刮片(342)均为弹性刮片,弹性刮片由高分子材料制成;所述弹性刮片高分子材料包括但不限于聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚醚醚酮等。

8.根据权利要求1所述的应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置,其特征在于:所述传样盒(4)包括传样盒盖子(41)和传样盒凸台(42),传样盒盖子(41)与传样盒凸台(42)通过螺纹连接配合,传样盒盖子(41)内部设有一密封圈,保证传样盒内部空间处于密封状态,传样盒凸台(42)底部有一个“十”字形的凸起结构,该凸起结构与进样腔(2)底部的“十”字形凹槽配合,使得传样盒凸台不能旋转,传样盒盖子(41)顶部有两个对称的圆弧形开口,该圆弧形开口用于进样腔顶部操作杆(24)打开或关闭传样盒(4)。