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专利号: 2020101346197
申请人: 江西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种可调谐多波段超窄带电磁波吸收器,包括金属衬底层、介质层和超表面结构层,所述介质层连接于所述金属衬底层上表面,所述超表面结构层连接于所述介质层上表面,其特征在于:所述超表面结构层由周期排列的硅纳米线组成。

2.根据权利要求1所述的可调谐多波段超窄带电磁波吸收器,其特征在于:所述硅纳米线周期排列,硅纳米线的间距为200纳米。

3.根据权利要求2所述的可调谐多波段超窄带电磁波吸收器,其特征在于:所述硅纳米线的半径为180~300纳米。

4.根据权利要求3所述的可调谐多波段超窄带电磁波吸收器,其特征在于:所述介质层的材料为二氧化硅,厚度为320纳米。

5.根据权利要求4所述的可调谐多波段超窄带电磁波吸收器,其特征在于:所述金属衬底层的材料为银,厚度为500纳米。

6.根据权利要求1~5任一权利要求所述的可调谐多波段超窄带电磁波吸收器的制备方法,包括以下步骤:步骤1:采用物理沉积方法,在衬底上沉积金属膜层;

步骤2:采用物理沉积方法,在所述金属膜层上沉积介质层;

步骤3:采用热蒸发法,蒸发Si粉末,在惰性气体气流的作用下,将蒸汽态的Si输运到所述介质层上,沉积硅纳米线,得到可调谐多波段超窄带电磁波吸收器。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于:所述物理沉积方法包括磁控溅射镀膜法、热蒸发镀膜法、真空电子束镀膜技术和离子束溅射镀膜法。