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专利号: 2020101351015
申请人: 江西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石墨烯等离激元多频带吸收器,其特征在于:包括金属衬底和石墨烯层,所述石墨烯层与所述金属衬底连接;所述金属衬底上分布有倾斜空气槽阵列,形成一维金属栅结构。

2.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元多频带吸收器,其特征在于:所述石墨烯层为单层完整的石墨烯。

3.根据权利要求1或2所述的石墨烯等离激元多频带吸收器,其特征在于:所述倾斜空气槽阵列由倾斜空气槽按周期排列而成,其周期为800纳米;空气槽的宽和高分别是100纳o米和300纳米;空气槽的倾斜角度为45。

4.根据权利要求3所述的石墨烯等离激元多频带吸收器,其特征在于:所述金属衬底的厚度为400纳米。

5.根据权利要求4所述的石墨烯等离激元多频带吸收器,其特征在于:所述金属衬底的材料为金。

6.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元多频带吸收器的制备方法,包括以下步骤:步骤1、提供金属衬底和硅片;

步骤2、运用刻蚀技术,在金属衬底上表面刻蚀出倾斜空气槽阵列;

步骤3、在硅片上利用化学气相沉积法制造一层石墨烯;

步骤4、将步骤3制造的石墨烯转移到步骤2的金属衬底上表面,得到石墨烯等离激元多频带吸收器。