1.一种基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，其特征在于，包括底板（1）、通过四个支撑柱连接在底板（1）一端的顶板（2）、设于顶板（2）底面的滑移抓取机构（3）、设于底板（1）上且位于顶板（2）下方的料盘（4）、设于底板（1）另一端的光学良率检测机构（5）以及设于底板（1）上且位于料盘（4）与光学良率检测机构（5）之间的干燥震动机构（6）；

所述滑移抓取机构（3）包括设于顶板（2）底面的直线滑移部件（31）、设于直线滑移部件（31）的输出端上的垂直位移部件（32）、设于垂直位移部件（32）的输出端上的超声磁性抓取头（33），所述直线滑移部件（31）用于带动超声磁性抓取头（33）沿水平方向移动，所述垂直位移部件（32）用于带动超声磁性抓取头（33）沿竖直方向移动，所述超声磁性抓取头（33）通过一悬臂（34）连接在垂直位移部件（32）上，所述悬臂（34）的一端连接在垂直位移部件（32）的输出端上，所述悬臂（34）的另一端连接在超声磁性抓取头（33）上；

所述超声磁性抓取头（33）包括压电微动片（331）、第一超声震动器（332）和座体（333），所述压电微动片（331）设于悬臂（34）上，所述第一超声震动器（332）设于压电微动片（331）上，所述座体（333）设于第一超声震动器（332）上，所述座体（333）的底面沿其长度方向间隔排列有多个微震动片（334），每个所述微震动片（334）的自由端均固定有与其长度相匹配的线性磁电极（335），所述线性磁电极（335）具有吸附平面；

所述干燥震动机构（6）包括可控超声震动器（61）、料槽（62）、U形的隔离罩（63）、静压氮气喷板（64），所述可控超声震动器（61）设于底板（1）上，所述料槽（62）设于可控超声震动器（61），所述隔离罩（63）的开口朝下，所述隔离罩（63）的两端固定在可控超声震动器（61）上，所述静压氮气喷板（64）固定在隔离罩（63）的内顶面上并位于料槽（62）的上方；

所述光学良率检测机构（5）包括第二超声震动器（51）、发光源（52）、光学玻璃板（53）、荧光板支架（54）和荧光接收板（55），所述第二超声震动器（51）设于底板（1）上并贴靠可控超声震动器（61）远离料盘（4）的一端，所述第二超声震动器（51）具有容置槽，所述发光源（52）设于容置槽内，所述光学玻璃板（53）固定在容置槽上并位于发光源（52）的上方，所述荧光板支架（54）设于第二超声震动器（51）上，所述荧光接收板（55）设于荧光板支架（54）与光学玻璃板（53）相对的表面上。

2.根据权利要求1所述的基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，其特征在于，所述线性磁电极（335）的横截面为正八边形，其外接圆直径为Micro LED两引脚间距的2/3；所述线性磁电极（335）的棱角处设有圆角，所述圆角的半径为线性磁电极（335）的外接圆直径的

1/8。

3.根据权利要求1所述的基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，其特征在于，所述料槽（62）的表面设有一层聚四氟乙烯涂层。

4.根据权利要求1所述的基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，其特征在于，所述发光源（52）为紫外线光源。

5.根据权利要求1所述的基于超声振动式的Micro LED阵列机械手，其特征在于，所述光学良率检测机构（5）还包括分光透镜（56），所述分光透镜（56）设于发光源（52）与光学玻璃板（53）之间。