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专利号: 2020101500344
申请人: 电子科技大学中山学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于: 包括基底层(1),所述基底层(1)的上方设置有叉指电极层(2),所述叉指电极层(2)的上方设置有金属氧化物层(3),所述金属氧化物层(3) 的上方设置有贵金属颗粒(4),所述贵金属颗粒(4)的上方还设置有金属氧化物颗粒(6),所述贵金属颗粒(4)之间的间隙(5)内设置有第二金属氧化物颗粒(7);所述金属氧化物颗粒(6)与贵金属颗粒(4)之间设置有还原氧化石墨烯层(8),所述还原氧化石墨烯层(8)覆盖整个所述贵金属颗粒(4)构成的层,所述贵金属颗粒(4)通过光激发出强烈的电子振荡,在贵金属颗粒(4)附近形成强电场。

2.如权利要求 1 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒(4)为球形。

3.如权利要求 2 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒(4)的半径为 20nm~100 nm。

4.如权利要求 1 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述叉指电极层(2)的叉指为长方体。

5.如权利要求 4 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述叉指电极层(2)的叉指的间距为 20nm~100nm, 叉指的宽度为 20nm~100nm,所述叉指电极层(2)的厚度为 100nm~1000nm。

6.如权利要求 4 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述叉指电极层(2)是由金或银制成。

7.如权利要求 1 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述金属氧化物层(3)是氧化铁(Fe2O3)、氧化铜(CuO)、氧化锌(ZnO)、四氧化三钴(Co3O4)、氧化镍(NiO)中的一种或多种组成。

8.如权利要求 7 所述的一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器,其特征在于:所述贵金属颗粒(4)是由金或银制成。