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专利号: 2020101500630
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种数字频率式湿度传感器,其特征在于,包括:切频开关(1)、偏置电感(2)、湿敏电极(3)、石英晶体(4)、振荡器(5)、测频控制单元(6);所述切频开关(1)第一端与湿敏电极(3)第一端连接,切频开关(1)第二端与偏置电感(2)第一端连接,偏置电感(2)第二端与湿敏电极(3)第二端连接,所述湿敏电极(3)第一端还与石英晶体(4)第一端连接,石英晶体(4)第二端与振荡器(5)第一端连接,振荡器(5)第二端与湿敏电极(3)第二端连接,所述测频控制单元(6)控制切频开关(1)的闭合或断开,所述测频控制单元(6)还包括测量振荡器(5)第二端的振荡频率;

测频控制单元(6)在单个测量周期内分别测量切频开关(1)闭合时振荡器(5)第二端的振荡频率F1、以及切频开关(1)断开时振荡器(5)第二端的振荡频率F2;将F1与F2之和作为湿度传感器的输出。

2.根据权利要求1所述的一种数字频率式湿度传感器,其特征在于,所述湿敏电极(3)为PCB印制电极。

3.根据权利要求2所述的一种数字频率式湿度传感器,其特征在于,所述PCB印制电极包括:衬底(31)、制作于衬底(31)上的叉指形微电极(32)、制作于叉指形微电极(32)上的树脂绝缘层(33)以及通过滴涂法制备于树脂绝缘层(33)上的湿度敏感薄膜(34),湿度敏感薄膜(34)覆盖整个叉指形微电极(32),叉指形微电极(32)焊点未被湿度敏感薄膜(34)覆盖。

4.根据权利要求3所述的一种数字频率式湿度传感器,其特征在于,湿度敏感薄膜(34)为羟基化石墨烯量子点薄膜。

5.根据权利要求4所述的一种数字频率式湿度传感器,其特征在于,所述羟基化石墨烯量子点薄膜中的羟基化石墨烯量子点的直径小于或等于10nm。

6.根据权利要求1或5所述的一种数字频率式湿度传感器,其特征在于,偏置电感(2)为平面螺旋电感器、贴片型电感器、工字型电感器中的一种。