1.一种日盲紫外雪崩光电探测器,其特征在于:其结构从下至上依次为AlN模板层(1)、AlN缓冲层(2)、n型Alx1Ga1-x1N层(3)、i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4)、n型GeS分离层(5)、i型Alx3Ga1-x3N倍增层(6)和p型GaN层(7);所述n型Alx1Ga1-x1N层(3)上引出有n型欧姆电极(31);
所述p型GaN层(7)上引出有p型欧姆电极(71);所述n型GeS分离层(5)分别与i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4)和i型Alx3Ga1-x3N倍增层(6)采用范德华力键合组合形成。
2.根据权利要求1所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器,其特征在于:所述AlN模板层(1)厚度为500nm;所述AlN缓冲层(2)厚度为100~300nm;所述n型Alx1Ga1-x1N层(3)厚度为
100~300nm;所述i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4)厚度为150~220nm;所述n型GeS分离层(5)厚度为1.2~1.8nm;所述i型Alx3Ga1-x3N倍增层(6)厚度为150~200nm;所述p型GaN层(7)厚度为
10~300nm。
3.根据权利要求1所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器,其特征在于:所述n型GeS分离层(5)的层数设置为两层。
4.根据权利要求3所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器,其特征在于:所述n型GeS分离层(5)每层的厚度相同。
5.根据权利要求1所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器,其特征在于:所述AlN模板层(1)采用蓝宝石模板衬底。
6.一种如权利要求1至5任一项所述的日盲紫外雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于包括以下步骤:S1:制作模块一,所述模块一从下至上依次包括AlN模板层(1)、AlN缓冲层(2)、n型Alx1Ga1-x1N层(3)和i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4);
S2:制作模块二,所述模块二从下至上依次包括AlN模板层(1)、AlN缓冲层(2)、i型Alx3Ga1-x3N层(6)和p型GaN层(7);
S3:制作模块三,所述模块三包括模块三衬底和n型GeS分离层(5);
S4:剥去模块二的AlN模板层(1)和AlN缓冲层(2),制得i型Alx3Ga1-x3N层(6)和p型GaN层(7)的组合体;
S5:将各层从下至上进行组合,模块一的i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4)和模块二的i型Alx3Ga1-x3N倍增层(6)均经由非原位法处理,模块三的n型GeS分离层(5)从模块三衬底剥离并分别采用范德华力键合技术与模块一的i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4)和模块二的i型Alx3Ga1-x3N倍增层(6)进行组合;
S6:将一部分区域的p型GaN层(7)从上表面刻蚀至n型Alx1Ga1-x1N层(3)的上表面,形成台面,并对刻蚀后的样品表面进行净化处理;
S7:在n型Alx1Ga1-x1N层(3)台面上蒸镀n型欧姆电极(31),蒸镀后对n型欧姆电极(31)进行退火处理;
S8:在p型GaN层(7)上蒸镀p型欧姆电极(71),蒸镀后对p型欧姆电极(71)进行退火处理。
7.根据权利要求6所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于:所述模块一的制作方法包块以下步骤:S11:清洗蓝宝石衬底作为模块一衬底,在NH3气氛下表面氮化模块一衬底,在模块一衬底上形成AlN模板层(1);
S12:在模块一的AlN模板层(1)上生长一层n型AlN缓冲层(2);
S13:在模块一的AlN缓冲层(2)上生长一层n型Alx1Ga1-x1N层(3);
S14:在n型Alx1Ga1-x1N层(3)上生长一层i型Alx2Ga1-x2N吸收层(4)。
8.根据权利要求6所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于:所述模块二的制作方法包块以下步骤:S21:清洗蓝宝石衬底作为模块二衬底,在NH3气氛下表面氮化模块二衬底,在模块二衬底上形成AlN模板层(1);
S22:在模块二的AlN模板层(1)上生长一层n型AlN缓冲层(2);
S23:在模块二的AlN缓冲层(2)上生长一层i型Alx3Ga1-x3N层(6);
S24:在i型Alx3Ga1-x3N倍增层(6)上生长一层p型GaN层(7)。
9.根据权利要求6所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于:所述模块三的制备方法采用化学气相沉积法合成GeS块状薄片并将GeS块状薄片机械剥离到模块三衬底上。
10.根据权利要求6所述的一种日盲紫外雪崩光电探测器的制备方法,其特征在于:所述S5中非原位法处理包括以下步骤:S51:将样品沉浸在HF酸容易中浸泡;
S52:取出立即用N2吹干并放入真空系统,基础压强≤5×10-9Torr;
S53:在特高压条件下,基础压强<5×10-9Torr,使用热丝加热样品进行热脱附过程,并在冷却之前保持15min。