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专利号: 2020103418202
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多样品快速更换型扫描探针显微镜,包括样品台(1)、探针(2),其特征在于:还包括XY限位装置(3)、质量块(4)、扫描管(5)、压电管(6),所述样品台(1)与探针(2)两者之一安装于质量块(4),另一者安装于扫描管(5)自由端,且初始状态时探针(2)正对着样品台(1)的中间位置;所述质量块(4)设于XY限位装置(3)内,质量块(4)安装在压电管(6)顶端,对压电管(6)施加尖峰信号,通过控制压电管(6)甩动来带动质量块(4)在XY限位装置(3)内XY方向上的移动;扫描管(5)与压电管(6)两者之一连接驱动机构(8),另一者连接基座(9)。

2.根据权利要求1所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述扫描管(5)与压电管(6)嵌套设置、并列设置或者竖直设置。

3.根据权利要求1所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述样品台(1)安装于扫描管(5)自由端时,扫描管(5)对样品进行扫描,且扫描过程中探针(2)不动作。

4.根据权利要求1所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述探针(2)安装于扫描管(5)自由端时,扫描管(5)控制探针(2),通过探针(2)对样品进行扫描。

5.根据权利要求2所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述扫描管(5)与压电管(6)嵌套设置时,基座(9)上设有固定端(10),位于外部的管道末端通过固定端(10)安装在基座(9)上。

6.根据权利要求2所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述扫描管(5)与压电管(6)竖直设置时,压电管(6)位于扫描管(5)正下方;此时,扫描管(5)连接驱动机构(8),压电管(6)连接基座(9)。

7.根据权利要求1所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述扫描管(5)的自由端设有安装座(7),样品台(1)或探针(2)通过安装座(7)安装在扫描管(5)自由端。

8.根据权利要求1所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述扫描管(5)和压电管(6)的材料相同,且扫描管(5)和压电管(6)均为圆环形结构。

9.根据权利要求1所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述驱动机构(8)为制动马达。

10.根据权利要求2所述的多样品快速更换型扫描探针显微镜,其特征在于:所述扫描管(5)与压电管(6)嵌套设置时,基座(9)竖直放置,基座(9)与扫描管(5)、压电管(6)相互平行;当所述扫描管(5)与压电管(6)并列设置或者竖直设置时,基座(9)水平放置。