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专利号: 2020103486568
申请人: 聊城大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-03-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法,其特征在于,包括步骤如下:在条形光波导结构的基础上制备两条沟槽;所述两条沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合,即将原波导重构为脊型波导;所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度相等或小于原条形波导。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述两条沟槽之间填充有低折射率介质,所述低折射率介质为折射率低于原条形波导衬底材料的介质。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述两条沟槽的边缘为直线,所述直线互相平行。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述两条沟槽相对于波导中轴线成对称分布。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述两条沟槽的入射或出射端构建锥形结构,即两条沟槽内侧壁间距渐变。

6.如权利要求1-5任一所述的制备方法获得的干涉器在制备波导传感器方面的应用。