欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020103583036
申请人: 王玲娟
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-05-20
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种NiS2增强石墨烯基SERS装置,该装置的具体结构为M-NiS2/NiS-石墨烯,其中,M为贵金属纳米层,NiS2/NiS为交替的NiS2和NiS纳米多层结构。

2.如权利要求1所述的一种NiS2增强石墨烯基SERS装置,其特征在于:所述贵金属纳米层的厚度为5-50nm,所述贵金属选自Au、Ag、Cu中的一种。

3.如权利要求1所述的一种NiS2增强石墨烯基SERS装置,其特征在于:所述纳米多层结构的层数是5-20层,每层NiS2的厚度为1-5nm,每层NiS的厚度为1-5nm。

4.一种如权利要求1-3任一项所述的一种NiS2增强石墨烯基SERS装置的制备方法,包括以下步骤:(1)以聚苯乙烯胶体球模板为衬底,在其表面化学气相沉积石墨烯层;

(2)在石墨烯层表面原子层沉积交替的NiS2和NiS纳米多层结构;

(3)在交替的NiS2和NiS纳米多层结构表面磁控溅射贵金属纳米层。

5.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于:其中,所述原子层沉积步骤中,采用镍脒基化合物作为镍源,所述镍脒基化合物选自双(N,N’-二异丙基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’-二(甲、乙)基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’-二(叔、异、正)丁基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’-二(叔、异、正、环)戊基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’-二环己基(甲~丁)脒基)镍中的一种。

6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于:沉积NiS2层的硫源为硫化氢等离子体,沉积NiS层的硫源为硫化氢气体。

7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于:原子层沉积交替的NiS2和NiS纳米多层结构的具体步骤包括:(A)A1、将所述镍源引入ALD反应器中;A2、接着将硫化氢等离子体引入反应器中;重复A1、A2得到NiS2单层;

(B)B1、将所述镍源引入ALD反应器中;B2、接着将硫化氢气体引入反应器中;重复B1、B2得到NiS单层;

(C)重复A、B,得到交替的NiS2和NiS纳米多层结构。

8.如权利要求7所述的制备方法,其特征在于:原子层沉积的温度为100-250℃。

9.如权利要求7所述的制备方法,其特征在于:在步骤A1、A2、B1、B2之间还包括吹扫步骤,通过向反应器中通入惰性气体,将多余的镍源、硫源、反应副产物等吹扫出去。