1.一种NiS2增强石墨烯基SERS装置,该装置的具体结构为M‑NiS2/NiS‑石墨烯,其中,M为贵金属纳米层,NiS2/NiS为交替的NiS2和NiS纳米多层结构;所述纳米多层结构的层数是
5‑20层,每层NiS2的厚度为1‑5nm,每层NiS的厚度为1‑5nm;其制备方法包括以下步骤:(1)以聚苯乙烯胶体球模板为衬底,在其表面化学气相沉积石墨烯层;
(2)在石墨烯层表面原子层沉积交替的NiS2和NiS纳米多层结构;
(3)在交替的NiS2和NiS纳米多层结构表面磁控溅射贵金属纳米层。
2.如权利要求1所述的一种NiS2增强石墨烯基SERS装置,其特征在于:所述贵金属纳米层的厚度为5‑50nm,所述贵金属选自Au、Ag中的一种。
3.一种如权利要求1‑2任一项所述的一种NiS2增强石墨烯基SERS装置的制备方法,包括以下步骤:
(1)以聚苯乙烯胶体球模板为衬底,在其表面化学气相沉积石墨烯层;
(2)在石墨烯层表面原子层沉积交替的NiS2和NiS纳米多层结构;
(3)在交替的NiS2和NiS纳米多层结构表面磁控溅射贵金属纳米层。
4.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于:其中,所述原子层沉积步骤中,采用镍脒基化合物作为镍源,所述镍脒基化合物选自双(N,N’‑二异丙基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’‑二(甲、乙)基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’‑二(叔、异、正)丁基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’‑二(叔、异、正、环)戊基(甲~丁)脒基)镍、双(N,N’‑二环己基(甲~丁)脒基)镍中的一种。
5.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于:沉积NiS2层的硫源为硫化氢等离子体,沉积NiS层的硫源为硫化氢气体。
6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于:原子层沉积交替的NiS2和NiS纳米多层结构的具体步骤包括:
(A)A1、将所述镍源引入ALD反应器中;A2、接着将硫化氢等离子体引入反应器中;重复A1、A2得到NiS2单层;
(B)B1、将所述镍源引入ALD反应器中;B2、接着将硫化氢气体引入反应器中;重复B1、B2得到NiS单层;
(C)重复(A)、(B),得到交替的NiS2和NiS纳米多层结构。
7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于:原子层沉积的温度为100‑250℃。
8.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于:在步骤A1、A2、B1、B2之间还包括吹扫步骤,通过向反应器中通入惰性气体,将多余的镍源、硫源、反应副产物吹扫出去。