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专利号: 2020103705584
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,由若干个器件结构单元周期性排列而成,每个器件结构单元自上而下包括二氧化硅层和二氧化钒层,二氧化硅层的上方设有两个狄拉克半金属U型结构,两个所述狄拉克半金属U型结构为U型开口方向两两相对;二氧化钒层的下方设有线栅。

2.根据权利要求1所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述狄拉克半金属U型结构的宽度W为1.3-1.6μm;厚度h1为0.2-1μm;两个狄拉克半金属U型结构之间的距离d为0.5-6μm。

3.根据权利要求2所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述狄拉克半金属U型结构的宽度W为1.5μm;厚度h1为0.2μm;两个狄拉克半金属U型结构之间的距离d为3μm。

4.根据权利要求1所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,两个所述狄拉克半金属U型结构的倾斜角度α为45°±10°,即为沿着器件结构单元的两个斜对角线方向左右旋转10°。

5.根据权利要求4所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述倾斜角度α为45°,即两个所述狄拉克半金属U型结构沿着器件结构单元的两个斜对角线方向对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述二氧化硅层的介电常数ε=3.8,边长P=21-23μm,厚度h2=6-13μm。

7.根据权利要求6所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述二氧化硅层的边长P=22μm,厚度为h2=7μm。

8.根据权利要求1所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述二氧化钒层的厚度h3=1-6μm。

9.根据权利要求9所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述二氧化钒层的h3=4μm。

10.根据权利要求1所述的一种基于二氧化钒和狄拉克半金属复合超表面的双功能偏振器,其特征在于,所述线栅厚度为h4=0.2μm,线宽为W1=1.3-1.6μm,周期为P1=2.6-3.2μm。