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专利号: 202010424392X
申请人: 河南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材,包括可被独立拆装的圆形靶材模块(101)和环形靶材模块(102),其特征在于:所述圆形靶材模块(101)置于环形靶材模块(102)中间固定成圆形靶材,圆形靶材模块(101)和环形靶材模块(102)的侧壁设有贯通孔(103),贯通孔(103)内设有贯通柱(104),贯通柱(104)的两端露出设置。

2.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材,其特征在于:所述靶材与靶托配合设置,靶材置于靶托上设置的圆形凹槽内,贯通柱(104)的长度等于圆形凹槽的内直径。

3.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材,其特征在于:所述圆形靶材模块(101)设置为一个,环形靶材模块(102)设置为一个或多个,圆形靶材模块(101)和环形靶材模块(102)之间或两个环形靶材模块(102)之间设有环形隔离模块(105),环形隔离模块(105)的侧壁上设有贯通孔(103)。

4.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材,其特征在于:所述(103)位于1/2靶材厚度以下的位置。

5.根据权利要求1所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材,其特征在于:所述贯通柱(104)两端部均记为零刻度线,中间为最大刻度线。

6.根据权利要求3所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材,其特征在于:所述环形隔离模块(105)的材质为不锈钢。

7.根据权利要求1-6任一项所述的应用于多脉冲激光共沉积的靶材,其特征在于:所述圆形靶材模块(101)和环形靶材模块(102)为两种或两种以上的陶瓷材料制备。