1.一种基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,包括有配合在一起的绝缘衬底(1)和绝缘覆盖层(4),所述绝缘衬底(1)和绝缘覆盖层(4)之间设有敏感薄膜(2)、电极(3)。
2.根据权利要求1所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述绝缘衬底(1)用作透明保护层。
3.根据权利要求1所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述敏感薄膜(2)用作温度敏感材料层。
4.根据权利要求1所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述敏感薄膜(2)采用聚丙烯酰胺/卡拉胶双网络水凝胶薄膜。
5.根据权利要求4所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述水凝胶薄膜经过盐溶液处理。
6.根据权利要求5所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述盐溶液为溴化锂。
7.根据权利要求1所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述绝缘衬底(1)和绝缘覆盖层(4)采用聚二甲基硅氧烷或Ecoflex。
8.根据权利要求1所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述电极(3)采用导电银胶或石墨烯或MXenes材料制成。
9.根据权利要求8所述的基于薄膜的电容式温度传感器,其特征在于,所述电极(3)与敏感薄膜(2)相对于绝缘衬底(1)处于同一层。
10.一种基于薄膜的电容式温度传感器的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:采用六甲基二硅胺烷(6)对石英玻璃基底(5)进行硅烷化处理;
S2:在硅烷化处理后的石英玻璃基底(7)上旋涂未聚合聚二甲基硅氧烷,经过加热聚合得到绝缘衬底(1);
S3:对S2步骤后的绝缘衬底(1)进行Plasma等离子工艺处理,再旋涂丙烯酰胺/卡拉胶溶液(8),引入抗冻盐溶液,依次进行低温-紫外或紫外-低温聚合,得到聚合的抗冻水凝胶薄膜层;
S4:剪裁所得到的水凝胶薄膜得到温度敏感和形变敏感的水凝胶薄膜工作区;
S5:采用刷涂法在水凝胶薄膜工作区两端沉积导电银胶或Mxenes溶液或石墨烯溶液,低温固化得到电极(3);
S6:对步骤S5处理得到的水凝胶薄膜工作区上旋涂未聚合的聚二甲基硅氧烷,经过后续加热聚合得到绝缘覆盖层(4);
S7:将石英玻璃基底(7)进行剥离处理,得到所述的基于薄膜的电容式温度传感器。