1.金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述方法包括:所述金属带材的表面镀膜方法为连续镀膜,所述连续镀膜的金属带材走带速度为0.5~120m/min;
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a. 等离子刻蚀:在真空度1~10 Pa,用流量50~4000sccm的Ar直接对金属带材进行等离子刻蚀,至金属带材的温度达到300~800℃停止等离子刻蚀; a步骤所述等离子刻蚀的磁场强度条件为:10~60mT;a步骤所述等离子刻蚀的电源正负脉冲占空比为50~80%;a步骤所述等离子刻蚀功率为1~50KW,a步骤所述等离子刻蚀将金属带材基底清洁22~38nm;a步骤所述等离子刻蚀的靶基距为50~200mm;a步骤所述电源条件为:频率10~100KHz,工作电压200~1200V;
b.镀膜:a步骤停止等离子刻蚀后,立即采用电子束蒸发镀膜在金属带材上镀膜。
2.根据权利要求1所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述金属带材的幅宽100~1500mm、厚度0.1~0.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属带材为不锈钢片。
4.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属带材为ST12、Q235或410。
5.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述等离子刻蚀所需要的放电宽度为:100~1500mm。
6.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,b步骤所述镀膜的镀膜金属为钛、镍、铬金属及其合金。
7.根据权利要求6所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,所述镀膜金属的纯度为98 99.999%。
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8.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,‑1 ‑3
b步骤所述镀膜的真空度为10 ~10 Pa。
9.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,b步骤所述镀膜的镀膜功率不小于40KW。
10.根据权利要求1或2所述的金属带材的表面镀膜方法,其特征在于,b步骤所述镀膜的镀膜厚度为0.01~200μm。