1.金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述方法包括:‑2
a. 间歇式等离子刻蚀:在真空度1~10 Pa,用流量50~4000sccm的Ar直接对金属板材进行间歇式等离子刻蚀,至金属板材的温度达到200~1200℃停止间歇式等离子刻蚀;a步骤所述等离子刻蚀的磁场强度条件为:10~60mT;a步骤所述间歇式等离子刻蚀的电源正负脉冲占空比为50~80%;a步骤所述间歇式等离子刻蚀的平均刻蚀深度3.9~8.6μm;
b.镀膜:a步骤停止间歇式等离子刻蚀后,立即在金属板材上镀膜;
所述间歇式等离子刻蚀的每次溅射刻蚀时间为1~60s,停机冷却时间10~3600秒。
2.根据权利要求1所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属板材的温度达到300~800℃停止间歇式等离子刻蚀。
3.根据权利要求1所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述镀膜采用电子束蒸发镀膜。
4.根据权利要求1所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述金属板材的幅宽100~1500mm、厚度0.1~0.5mm。
5.根据权利要求1或2所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属板材为不锈钢板。
6.根据权利要求1所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述金属板材为ST12、Q235或410钢板。
7.根据权利要求1或2所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述间歇式等离子刻蚀的靶基距为50~200mm。
8.根据权利要求1或2所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述电源条件为:频率10~100kHz,工作电压200~1200V、电流5~80A。
9.根据权利要求1或2所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,a步骤所述间歇式等离子刻蚀的刻蚀速率为2.4~2.7nm/s。
10.根据权利要求1或2所述的金属板材的表面镀膜方法,其特征在于,所述a步骤通入‑3 ‑4Ar前,控制真空度为10 ~10 Pa。