1.一种内部球形空腔阵列稳定成形的三维光子晶体制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在硅基光子晶体表面离子刻蚀出规则排列的二维阵列微孔；

S2：采用两块水平的钼板作为电场的两个电极板，钼板电极分别与直流电源连接；

S3：将硅片样品放置在水平管式炉的高温加热区内，保证管内真空环境，向管内通入一定流量的纯氩气；

S4：将钼板放置在水平管式炉的上下两侧；

S5：调节直流电压控制电场强度，并进行热处理。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤S1中，阵列微孔的孔径D、孔高H、孔距Ds需满足：5≤L/D；Ds＞D。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于：步骤S2中，根据硅基光子晶体内部球形空腔结构的数量及排列位置，来确定电极板的摆放方式、电场作用方向。

4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤S3中，水平管式炉的环境温度为

1150℃。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于：步骤S5中，电场强度区间为8.90×106V/cm-1.35×107V/cm。