1.一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,包括沿光路方向依次固定设置的光纤激光器(1)、光纤准直器(2)、可调衰减器(3)、显微物镜(5)、平面平晶I(6)、平面平晶II(7)、压电陶瓷驱动器(8)、会聚透镜(9)、滤波器(10)和成像探测器件(11),所述成像探测器(11)通过电缆与计算机(12)连接。
2.根据权利要求1所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,所述光纤激光器(1)与光纤准直器(2)通过单模光纤连接。
3.根据权利要求2所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,显微物镜(5)的焦平面上放置待测样品(4)。
4.根据权利要求3所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,平面平晶I(6)和平面平晶II(7)紧邻,所述平面平晶I(6)后表面镀增透膜,所述面平晶II(7)前表面镀有高反膜,后表面与压电陶瓷驱动器(8)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,所述压电陶瓷驱动器(8)与计算机(12)用控制线连接。
6.根据权利要求5所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,滤波器(10)置于平面平晶I(6)前表面反射光束的会聚焦点处。
7.根据权利要求6所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,所述滤波器(10)包括针孔滤波窗口(14)和圆孔滤波窗口(15)。
8.根据权利要求1所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置,其特征在于,所述可调衰减器(3)和显微物镜(5)之间还设置有分束镜(13)。