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专利号: 2020106015326
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种激光功率计结构,其特征在于:包括激光功率计单元,所述激光功率计单元包括自下而上依次设置的基板、绝缘层、金属弹性形变层;

所述基板靠近绝缘层一侧设有良导电层A,所述良导电层A为直径范围在5~50mm的圆形区域,所述良导电层A通过导线连接电极A;

所述绝缘层中心设有镂空区;

所述金属弹性形变层靠近绝缘层一侧设有与良导电层A外形尺寸相当的良导电层B,所述良导电层B通过导线连接电极B,所述金属弹性形变层远离绝缘层一侧设有高反射镜,良导电层A、良导电层B和高反射镜三者对正设置。

2.根据权利要求1所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述绝缘层的镂空区为直径大小为80mm的圆形区域,所述绝缘层的厚度范围为10~100μm。

3.根据权利要求2所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述基板为硬度HV大于2

107,且满足在100×100μm区域内表面粗糙度均方根小于50μm的金属合金基板。

4.根据权利要求3所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述金属弹性形变层为厚度范围在100~500μm、热膨胀系数小于6.2×10-6/K且杨氏模量范围在2.1×1010Pa~7.1×

1010Pa的铝合金层。

5.根据权利要求4所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述绝缘层选用磁控溅射制备的耐高温陶瓷材料。

6.根据权利要求5所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述绝缘层选用AlN材质。

7.根据权利要求6所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述金属弹性形变层自内而外依次包括中心区、悬臂区和框架区;所述中心区大小与良导电层A相当,所述中心区通过悬臂区与框架区固定连接;所述悬臂区的范围不超过绝缘层镂空区的范围;所述高反射镜设于金属弹性形变层远离绝缘层一侧中心区,且高反射镜范围不超过中心区范围。

8.根据权利要求7所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述悬臂区包括3-6条刚度小于K=71N/m的弹簧。

9.根据权利要求8所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述高反射镜的反射率大于0.999。

10.根据权利要求1-9任一所述的一种激光功率计结构,其特征在于:所述激光功率计单元设有两组,两组激光功率单元共用一个绝缘层和基板。