1.Ag‑Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂,其主体为Mo‑Ag合金膜,其特征在于:通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo‑Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒,之后在蠕虫状Ag颗粒表面溅射沉积一层Ag‑Co合金膜;所述Mo‑Ag合金膜的厚度为80‑200nm,其中Ag的含量为22‑29at%;所述Mo‑Ag合金膜是以聚酰亚胺为基体,并使其保持与基片台呈5‑10°夹角的悬垂状态后,溅射沉积获得。
2.根据权利要求1所述的Ag‑Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述蠕虫状 Ag 颗粒的尺寸为 50‑180nm。
3.根据权利要求1所述的Ag‑Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述Ag‑Co合金膜的厚度为15‑26nm。
4.根据权利要求1所述的Ag‑Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法,通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo‑Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒,之后在形成蠕虫状Ag颗粒的表面溅 射沉积Ag‑Co合金膜即可得到,其特征在于:在溅射沉积Mo‑Ag合金膜时,使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5‑10°夹角的悬垂状态进行溅射,且保证所溅射形成的Mo‑Ag合金膜的厚度为
80‑200nm,Ag的含量为22‑29at%。
5.根据权利要求4所述的Ag‑Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法,其特征在于:
所述溅射沉积Ag‑Co合金膜时,采用由Ag靶与其表面覆盖的Co片构成复合靶材,施以射频溅射工艺,功率为100w,沉积时间为1‑2min。