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专利号: 2020106036568
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种柔性表面增强拉曼效应基底材料,其主体为Mo-Ag合金膜,其特征在于:在所述Mo-Ag合金膜的一个表面分布有蠕虫状Ag颗粒。

2.根据权利要求1所述的一种柔性表面增强拉曼效应基底材料,其特征在于:所述蠕虫状Ag颗粒的尺寸为50-180nm。

3.根据权利要求1所述的一种柔性表面增强拉曼效应基底材料,其特征在于:所述Mo-Ag合金膜的厚度为80-220nm,其中Ag的含量为22-29at%。

4.根据权利要求1所述的一种柔性表面增强拉曼效应基底材料,其特征在于:所述Mo-Ag合金膜是以聚酰亚胺为基体,并使其保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态后,溅射沉积获得。

5.根据权利要求1所述的柔性表面增强拉曼效应基底材料的制备方法,通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜时形成,其特征在于:在溅射沉积Mo-Ag合金膜时,使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态进行溅射,且保证所溅射形成的Mo-Ag合金膜的厚度为80-220nm,Ag的含量为22-29at%。