1.一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其主体为Mo-Ag合金膜,其特征在于:在所述Mo-Ag合金膜的一个表面分布有蠕虫状Ag颗粒和至少一个的Co原子或原子团簇。
2.根据权利要求1所述的一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述蠕虫状Ag颗粒的尺寸为50-180nm。
3.根据权利要求1所述的一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述Mo-Ag合金膜的厚度为100-200nm,其中Ag的含量为22-29at%。
4.根据权利要求1所述的一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述Mo-Ag合金膜是以聚酰亚胺为基体,并使其保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态后,溅射沉积获得。
5.根据权利要求1所述的一种Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂,其特征在于:所述Co原子或原子团簇的分布密度为50-300个/μm2。
6.根据权利要求1所述的Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法,通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒,之后在形成蠕虫状Ag颗粒的表面溅射沉积Co原子即可得到,其特征在于:在溅射沉积Mo-Ag合金膜时,使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态进行溅射,且保证所溅射形成的Mo-Ag合金膜的厚度为100-
200nm,Ag的含量为22-29at%。
7.根据权利要求6所述的Co原子复合纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法,其特征在于:所述溅射沉积Co原子时,采用Co靶射频溅射,功率为100w,时间为3-5s。