欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020106501521
申请人: 河南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法,其特征在于,包括悬臂梁式的应变机构(1),所述应变机构(1)包括夹片结构(2)和运动结构(3),p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结器件(4)作为悬臂梁,所述运动结构(3)包括压片器和运动电机,所述压片器可随运动电机移动,所述运动电机可以精确控制运动距离并实现锁定定位,所述运动电机控制所述压片器下压,造成所述悬臂梁的弯曲,所述悬臂梁的弯曲形变会等效一部分在p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结器件(4)的厚度方向上,从而造成纵向压应变的产生,随着运动电机行程的变化,等效的形变也会发生变化,其中,所述p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结器件(4)的最底层为p型硅衬底(5),其次为并列且互不接触的ZnO薄膜层(6)和ITO薄膜电极II(7),在所述ZnO薄膜层(6)的上方还附着一层ITO薄膜电极I(8);

对所述p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结器件(4)进行测试,过程为:将铁架台(9)固定在光学平台上,所述应变机构(1)放置在所述铁架台(9)上,激光器(10)放置在电学测试仪(11)顶部,在激光器(10)的光纤出口处增设有快门(12)以快速控制光路通断,所述快门(12)与光纤出口使用3D打印订制的外壳包覆相连,所述快门(12)通过铁架台(9)进行固定支撑。

2.根据权利要求1所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法,其特征在于,所述p型硅衬底(5)采用10mm×10mm×0.5mm的p掺杂硅片,经去离子水、丙酮、乙醇超声清洗30分钟后使用氮气枪吹干,作为衬底备用。

3.根据权利要求2所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法,其特征在于,所述ZnO薄膜层(6)、ITO薄膜电极II(7)和ITO薄膜电极I(8)均采用射频磁控溅射的方式制备。

4.根据权利要求3所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法,其特征在于,所述ZnO薄膜层(6)制备:将p型硅衬底(5)放入JGP‑350B型磁控溅射仪真空腔体内,其中靶材为纯度99.99%直径6cm的ZnO陶瓷,在p型硅衬底(5)盖上对应图案的掩膜‑4板后,关闭腔体并使用机械泵和分子泵抽至4×10 Pa的本底真空,经历5次氩气洗气后按

40:2的比例通入氩气和氧气,期间保持腔体气压稳定在2.2Pa,在正式溅射开始前转动公转轴将样品台移开以进行10min的预溅射,之后正式溅射15min,其中,预溅射和正式溅射的功率均为80W,衬底加热温度为500℃,最后,将p型硅衬底(5)自然退火后取出。

5.根据权利要求4所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法,其特征在于,所述ITO薄膜电极II(7)、ITO薄膜电极I(8)制备:将p型硅衬底(5)放入JGP‑

350B型磁控溅射仪真空腔体内,其中靶材选用纯度99.99%直径6cm的ITO陶瓷靶材,溅射温度为室温,通入纯净的氩气,腔体压强保持在2.2Pa,溅射功率为50W,溅射时长为10min,最后,将p型硅衬底(5)自然退火后取出。

6.利用权利要求1~5任一所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法得到的力、光复合探测器。

7.利用权利要求1~5任一所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法得到的门电路。

8.利用权利要求1~5任一所述的用于调控p‑Si/n‑ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法得到的光伏器件。