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专利号: 2020107276569
申请人: 无锡新微阳科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-08-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆测试用探针台,包括机架(1),所述机架(1)上设有测试装置(2)和转料装置(3),所述转料装置(3)包括机械手(31),其特征在于:还包括转动架设在机架(1)上的旋转支架(8),所述机架(1)上设有用于驱使旋转支架(8)转动的旋转电机(11),所述旋转支架(8)的旋转轴心水平,旋转支架(8)位于测试装置(2)下方,旋转支架(8)上滑动设有底座(81),旋转支架(8)上设有用于驱使底座(81)滑移的驱动机构(82),所述底座(81)成对设置,两个底座(81)的滑移方向相反,底座(81)背向旋转支架(8)中心一侧的面上设有吸附板(83),底座(81)通过横移组件(84)和纵移组件(85)与吸附板(83)相连,所述吸附板(83)背向底座(81)一侧开设有气孔(831),所述气孔(831)朝向底座(81)的一端接有气泵(833),所述驱动机构(82)包括转动架设在旋转支架(8)上的驱动齿轮(821),所述旋转支架(8)上设有第一驱动电机(822),所述第一驱动电机(822)的机轴与驱动齿轮(821)相连,两个所述底座(81)上均设有驱动齿条(823),两个所述驱动齿条(823)分别位于驱动齿轮(821)的两侧,驱动齿条(823)与驱动齿轮(821)啮合,驱动齿条(823)沿底座(81)的滑移方向设置,所述旋转支架(8)通过转轴(86)与机架(1)相连,所述转轴(86)上套设有正齿轮(87)和反齿轮(88),所述机架(1)上转动架设有第一传动轴(12)和第二传动轴(13),所述第一传动轴(12)和第二传动轴(13)均与转轴(86)平行,所述第一传动轴(12)与旋转电机(11)的机轴相连,第一传动轴(12)上键连接有第一齿轮(14),所述第二传动轴(13)上键连接有第二齿轮(15)和第三齿轮(16),所述第一齿轮(14)与第一传动轴(12)滑动配合,第一齿轮(14)在滑移至与正齿轮(87)齐平时啮合于正齿轮(87)上,第一齿轮(14)在滑移至与第二齿轮(15)齐平时啮合于第二齿轮(15)上,所述第三齿轮(16)与反齿轮(88)啮合,所述机架(1)上还架设有气缸(17),所述气缸(17)与第一传动轴(12)平行,气缸(17)的活塞杆上连接有推块(171)和勾块(172),所述推块(171)和勾块(172)分别与第一齿轮(14)的两端面相抵。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台,其特征在于:两个所述驱动齿条(823)背向驱动齿轮(821)的一侧均设有限位块(824),所述限位块(824)与对应的驱动齿条(823)相抵,限位块(824)与旋转支架(8)相连。

3.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台,其特征在于:所述驱动机构(82)包括转动架设在旋转支架(8)上的螺杆(825),所述螺杆(825)沿底座(81)的滑移方向设置,螺杆(825)一端设有左旋螺纹,螺杆(825)另一端设有右旋螺纹,螺杆(825)两端分别套设有两个螺母座(826),所述螺母座(826)与螺杆(825)螺纹配合,两个螺母座(826)分别与两个底座(81)相连,所述旋转支架(8)上设有第二驱动电机(827),所述第二驱动电机(827)的机轴与螺杆(825)相连。

4.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台,其特征在于:所述推块(171)朝向第一齿轮(14)一侧设有第一滚珠(174),推块(171)通过第一滚珠(174)与第一齿轮(14)相抵,所述勾块(172)朝向第一齿轮(14)一侧设有第二滚珠(175),勾块(172)通过第二滚珠(175)与第一齿轮(14)相抵。

5.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台,其特征在于:所述旋转电机(11)为步进电机。

6.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台,其特征在于:所述横移组件(84)包括横移座(841)、横移丝杆(842)和横移电机(843),所述横移座(841)与底座(81)滑动配合,横移座(841)的滑移方向与底座(81)的滑移方向垂直,所述横移丝杆(842)沿横移座(841)的滑移方向设置,横移丝杆(842)穿设且螺接连接于横移座(841)上,所述横移电机(843)与横移丝杆(842)相连,所述纵移组件(85)包括纵移座(851)、纵移丝杆(852)和纵移电机(853),所述纵移座(851)与横移座(841)滑动配合,纵移座(851)的滑移方向与横移座(841)的滑移方向和底座(81)的滑移方向均垂直,所述纵移丝杆(852)沿纵移座(851)的滑移方向设置,纵移丝杆(852)穿设且螺接连接于纵移座(851)上,所述纵移电机(853)与纵移丝杆(852)相连。

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